Durchmesser-Messsystem NEXIV VMZ-NWL200

Positionkritische Dimensiondimensional

Überblick
Der VMZ-NWL200 ist ein automatisches Wafer-Messsystem, das das NEXIV-Videomesssystem mit dem NWL200-Wafer-Loader integriert. Mit moderner Bildverarbeitung führt es automatische, hochpräzise und schnelle Messungen von 6-Zoll- und 8-Zoll-Wafern in Trägern durch und liefert Messdaten für die Prozesskontrolle in der Halbleiterfertigung.

Zuverlässigkeit, Effizienz und Bedienbarkeit

• Hohe Zuverlässigkeit: Vollautomatische, reproduzierbare Messungen reduzieren Bedienereinflüsse; hochwertige Optik erzeugt klare Bilder zur präzisen Kantenerkennung.
• Hohe Effizienz: Inspektion mit einem Klick startbar; Messdurchsatz deutlich höher als bei herkömmlichen Messmikroskopen, was die Gesamtbetriebskosten senkt.
• Gute Bedienbarkeit: GUI zeigt Wafer-Grafiken, Messchips können per Mausklick ausgewählt werden; spezielle Software vereinfacht Prozesssteuerungsabläufe und beschleunigt Rückmeldung an die Produktion.

Produkt-Highlights

• Integrierte Messzelle mit NEXIV-Videomesssystem und NWL200-Wafer-Loader.
• Vollautomatische und sichere Inspektion von 6"- und 8"-Wafern in Trägern.
• Schnelle, hochpräzise Messungen für Prozesskontrolle und Anforderungen von Quality 4.0.

Kernfunktionen

• Automatische Wafer-Handhabung und -Messung für 6" und 8" Wafer in Trägern, inklusive Transfer- und Positionierfunktionen.
• Robuste Inspektionsprogramme mit Erstellung, Ausführung und Speicherung sowie vollständiger Rückverfolgbarkeit.
• Unterstützt Ertragsverbesserung durch schnelle Bereitstellung qualitativ hochwertiger Messdaten für die Produktionssteuerung.
• GUI-basierte Chip-Auswahl und Messkonfiguration zur Vereinfachung der Bedieneraufgaben.

Technische Daten

• Gerät: Videomesssystem – NEXIV (VMZ-S3020 Type2 / Type3 / TypeTZ); Loader – NWL200
• Wafer-Größe: 6 Zoll, 8 Zoll (SEMI/JEIDA Standard)
• Kompatible Träger: 6" – PA182-60MB-06XX (Entegris); 8" – PA192-80M-06XX (Entegris)
• Durchsatz (Transferreferenz): 6 Min. 45 Sek. für 25 Wafer (ohne Messzeit)
• Mindest-L/S: 500 Linien/mm
• Betriebstemperatur: 19–26 °C
• Betriebsfeuchte: unter 70 % r.F.
• Abmessungen (B x T): 4125 x 3040 mm
• Versorgungsspannung: AC 100–120 V / 200–240 V
• Netzfrequenz: 50 Hz / 60 Hz
• Stromaufnahme: 7,5 A / 3,7 A
• Vakuum: -80 kPa

Hinweise

• *1 Vor dem Verkauf ist eine Bewertung der Wafer-Transferfähigkeit erforderlich.
• *2 Die angegebene Transferzeit bezieht sich auf 25 Wafer und schließt die Messzeit aus.