Messsystem / kritische Dimension NEXIV VMZ-S

Sichtfeld (FOV)DistanzKoordinaten

Produktübersicht
Die NEXIV VMZ‑S Serie von Nikon umfasst Video‑Messsysteme zur dimensions‑ und höhenmessung in industriellen Prüfaufgaben. Verfügbar sind die Modelle VMZ‑S3020, VMZ‑S4540 und VMZ‑S6555; sechs Optik/Zoom‑Typen sind wählbar, TTL‑Scanning‑Laser‑Autofokus ist serienmäßig.

Geschwindigkeit und Genauigkeit

• TTL‑Scanning‑Laser‑AF ermöglicht Hochgeschwindigkeits‑Höhenabtastung bis zu 1.000 Punkten/s zur schnellen Profilerfassung.
• Mindestablesung 0,01 µm und Laser‑AF‑Wiederholgenauigkeit 2σ ≤ 0,5 µm für nachvollziehbare Messwerte.
• Konzipiert für kontinuierliche Prüfflows mit automatischer Messung, die Positionsvariationen der Bauteile toleriert.

Produkthighlights

• Sechs optische Typen (Type 1, 2, 3, 4, TZ, A) für verschiedene Sichtfelder und Vergrößerungen; Type 1–3 mit geringer Verzerrung und hohem NA, Type 4 und TZ für hohe Vergrößerungen.
• 8‑Segment Ringbeleuchtung mit mehreren Einfallswinkeln (weiße LEDs) zur verbesserten Kantenerfassung; typabhängige Beleuchtungsmodi: Auflicht, Durchlicht, Dunkelfeld.
• Erkennung dünner transparenter Schichten (~0,1 mm) mittels TTL‑Laser‑AF (nicht für Type A verfügbar).
• Bildgebende Sonden und Sondieroptionen mit geringen Sondierfehlern für feine Messaufgaben (P_FV2D,MPE 0,3 µm; P_F2D,MPE 0,8 µm).

Kernfunktionen

• Hochgenaue, hochgeschwindige Längen‑ und Formmessung über mehrere Vergrößerungsbereiche mit hoch‑NA‑Optiken.
• Flexible Beleuchtungsstrategien und spezielle Optionen zur zuverlässigen Messung schwieriger Kanten und Merkmale.
• Schwarz‑weiß‑ oder Farb‑1/3"‑CMOS‑Kamera und nahtloses optisches Zoom für Beobachtungs‑ und Messabläufe.
• Integration mit Nikon‑Messtechnik‑Software und optionalen SDKs für Automatisierung und Datenmanagement.

Spezifikationen (Zusammenfassung)
Modell | VMZ‑S3020 | VMZ‑S4540 | VMZ‑S6555
XYZ‑Verfahrwege | 300 × 200 × 200 mm (TZ geringes Vergrößerung: 250 × 200 × 200 mm) | 450 × 400 × 200 mm (TZ: 400 × 400 × 200 mm) | 650 × 550 × 200 mm (TZ: 600 × 550 × 200 mm)
Min. Ablesung | 0,01 µm (alle Modelle)
Max. Probengewicht | 20 kg (Genauigkeit garantiert: 5 kg) | 40 kg (Genauigkeit garantiert: 20 kg) | 50 kg (Genauigkeit garantiert: 30 kg)
Max. zulässige Abweichung (MPE) | EUX/EUY, MPE = 1,2 + 4L/1000 µm; EUXY, MPE = 2,0 + 4L/1000 µm; EUZ, MPE = 1,2 + 5L/1000 µm
Sondierfehler | P_F2D,MPE = 0,8 µm; P_FV2D,MPE = 0,3 µm
Kamera | 1/3" CMOS (SW / Farbe)
Arbeitsabstand | Type 1–3: 50 mm; Type 4: 30 mm; Type TZ: (hohe Vergr.) 11 mm / (niedrige) 32 mm; Type A: 73,5 mm (63 mm mit Laser AF)
Laser‑AF‑Wiederholgenauigkeit | 2σ ≤ 0,5 µm
Beleuchtung | Auflicht, Durchlicht, 8‑Segment Ringbeleuchtung mit mehreren Einfallswinkeln (weiße LEDs); typabhängige Konfigurationen
Netz / Verbrauch | AC100–240 V, 50/60 Hz / 2–4 A
Abmessungen & Gewicht | Modellabhängig, siehe modell‑spezifische Einträge (Gehäuse und Controller).

Technische Spezifikationen

• Serie: NEXIV VMZ‑S (VMZ‑S3020, VMZ‑S4540, VMZ‑S6555).
• Min. Ablesung: 0,01 µm.
• TTL Laser‑AF: Scanning bis 1.000 Punkte/s; Wiederholgenauigkeit 2σ ≤ 0,5 µm.
• Sondiergenauigkeiten: P_FV2D,MPE 0,3 µm; P_F2D,MPE 0,8 µm.
• Beleuchtung: Auflicht, Durchlicht, segmentierter Ring, Dunkelfeld‑Optionen.
• Kamera: 1/3" CMOS (SW / Farbe).
• Netzversorgung: AC100–240 V, 50/60 Hz.
• Stellfläche und Masse: variieren je Modell; für die Installation die modellbezogenen Abmessungen beachten.