Glühofen CCBS-IR

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Bei der CCBS-IR-Serie handelt es sich um Ein-Substrat-Transfer-Reinigungsöfen, die mit einem IR-Heizsystem arbeiten. Sie können eine Vielzahl von Wärmebehandlungen für großformatige Flüssigkristalle (LCD) und organische Leuchtdioden (OLED) bis zur zehnten Generation durchführen. Ein Demonstrationsmodell, das IGZO und LTPS (Niedertemperatur-Polysilizium) bei 500°C verarbeitet, ist ebenfalls erhältlich. Merkmale Hochgradig sauberer Faktor Hohe Heizeffizienz Ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit Kontrolle der Atmosphäre möglich Hoher Reinheitsgrad Die saubere Struktur, die keinen Staub erzeugt, in Kombination mit der präzisen Steuerung der Ofenatmosphäre (Patent erworben), sorgt für ein hohes Maß an sauberer Leistung. Diese Öfen sind auch für die Verarbeitung von Array-Substraten geeignet, die eine streng saubere Umgebung erfordern. Hohe Heizeffizienz Es wird ein Ferninfrarot-(IR)-Heizsystem mit überragender Heizeffizienz verwendet, das eine hocheffiziente Verarbeitung aller Schichtdicken ermöglicht. Es ist ideal für die Verarbeitung von dicken Schichten wie Ausrichtungsschichten und Passivierungsschichten. Ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit Die eingesetzten IR-Flächenstrahler bieten eine hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit. Sie sind in der Lage, auch große Substrate wie die 10. Generation gleichmäßig zu erwärmen. Kontrolle der Atmosphäre möglich Stickstoffgas kann in den Ofen eingeleitet werden, um die Wärmebehandlung bei niedrigen Sauerstoffkonzentrationen durchzuführen.