Dickenmesssystem Aleris®

spektroskopischfür Folien

Das Filmmesssystem Aleris® 9350 liefert zuverlässige, hochpräzise Messungen von Filmdicke, Brechungsindex, Spannung und Zusammensetzung für ein breites Spektrum an allgemeinen Filmen, die moderne Logik, DRAM und 3D-NAND unterstützen. Das Aleris 9350 basiert auf unserer neuesten Plattform mit einer lichtstarken Lichtquelle und aktualisierten optischen Systemen und nutzt die Technologie der Breitband-Spektral-Ellipsometrie (BBSE), um branchenführende Produktivität und Leistung für allgemeine Schichtanwendungen zu bieten. Mit der Portierung von Rezepturen und plattformübergreifenden Anpassungsmöglichkeiten bietet das System eine umfassende Lösung für die Qualifizierung und Überwachung verschiedener Folienschichten, die die Prozesssteuerung in der Fertigung unterstützt und die Zeit bis zur Ausbringung verkürzt. Technische Analyse, Inline-Prozessüberwachung, Werkzeugüberwachung, Prozesswerkzeugabgleich Aleris 8330 Das Filmmesssystem Aleris 8330 ist eine kostengünstige Lösung für unkritische Schichten, einschließlich intermetallischer Dielektrika, Photoresists, unterer Antireflexbeschichtungen, dicker Oxide und Nitride sowie Back-End-of-Line-Schichten. Aleris 8350 Das Aleris 8350 ist ein Hochleistungs-Filmmesssystem, das die engeren Prozesstoleranzen erfüllt, die für Dicken-, Brechungsindex- und Spannungsmessungen an kritischen Filmen erforderlich sind. Das Schichtdickenmesssystem Aleris 8350 wird für die fortschrittliche Schichtentwicklung, Charakterisierung und Prozesskontrolle für eine Vielzahl kritischer Schichten eingesetzt, darunter ultradünne Diffusionsschichten, ultradünne Gate-Oxide, fortschrittliche Photoresists, 193nm ARC-Schichten, ultradünne Multilayer-Stapel und CVD-Schichten. Aleris 8510 Das Aleris 8510 erweitert das Angebot der Aleris-Familie an Schichtdickenmessungen, Zusammensetzung