Quetschventil LD

manuellSpülSteuerung

Manuelles Niederdruck-Membranventil LD SERIES — UHP Hochtemperatur, Null-Totvolumen

Anwendung und Zweck
Das manuelle Niederdruck-Membranventil der LD SERIES ist für ultra-hochreine (UHP) Vakuum- und Niederdruck-Dampfleitungen in der Halbleiterfertigung konzipiert, insbesondere für beheizte Leitungen in Prozessen wie CVD und ALD. Es bietet positive manuelle Absperrung und verhindert virtuelle Lecks, die subnanometrische Waferprozesse beeinträchtigen können.

Beseitigung virtueller Lecks durch Konstruktion

• Null-Totvolumen-Architektur: Optimierter interner benetzter Hohlraum ohne versteckte Taschen zur Vermeidung von Molekül-Einschlüssen.
• Materialauswahl für hohe Temperaturen: Benetzte Komponenten aus 316L VIM‑VAR Edelstahl und Membranen aus Hastelloy C‑22 oder kobaltbasierten Superlegierungen (UNS R30003) erhalten die Integrität bei Dauerheizung.
• Elektropolierte Innenoberfläche: Innenflächen elektropoliert auf < 5 micro‑inches Ra zur Reduzierung von Adsorption und zur Beschleunigung der Desorption während Spül- und Evakuierungszyklen.

Installation und Wartung
Die doppelt versiegelten Komponenten ausschließlich in einem zertifizierten Reinraum Klasse 100 öffnen. Das Ventil mit orbitalem Butt‑Weld oder empfohlenen VCR Face‑Seal‑Anschlüssen montieren. Bei Verwendung von Heizmänteln gleichmäßige Abdeckung sicherstellen und die maximal zulässige Temperatur nicht überschreiten. Vakuum‑Decay‑Tests und Helium‑Massenspektrometer‑Lecktests durchführen, um die Basisintegrität vor Inbetriebnahme zu bestätigen.

LD SERIES
NIEDERDRUCK MANUELLES MEMBRANVENTIL

Eigenschaften
Gehäuse

• Gehäuse aus 316L VIM‑VAR Edelstahl für ultrahochreine Anwendungen.
• Innere Oberflächenrauheit erreichbar bis < 5 μin Ra und vollständig reinigbarer Strömungskanal.
• Minimierte Einschlusstellen zur Erleichterung der Spülung und zur Maximierung des Durchflusses.

Membran

• Hastelloy C‑22 oder kobaltbasierten Superlegierungen (UNS R30003) für Temperatur‑ und Korrosionsbeständigkeit.
• Konstruiert für lange Zykluslebensdauer.

Sitz

• Vollständig gekapseltes PCTFE-Sitzdesign resistent gegen Quellung und Kontamination.
• Verbesserte Leistung bei Helium-Lecktests und minimale Partikelbildung.
• Montage und Verpackung in hochreinen Bedingungen; Helium‑Prüfung vor Versand.

Technische Daten
Technische Abbildungen und Maßzeichnungen als Referenz verfügbar (Abmessungen in Millimetern; Änderungen vorbehalten).

Produktgröße
Abmessungen dienen nur als Referenz und können aktualisiert werden.

Strömungskanal‑Form
Strömungskanal optimiert zur Minimierung von Einschlusstellen und zur Maximierung der Spüleffizienz.

Bestellinformationen
Mehrere Konfigurationen und Standardbestellspezifikationen für die LD SERIES‑Familie verfügbar.

Spezifikationen

• Modell / Serie: LD SERIES
• Anwendung: UHP Vakuum- und Niederdruck-Dampfleitungen für Halbleiterprozesse (CVD, ALD)
• Gehäusematerial: 316L VIM‑VAR Edelstahl
• Innenfläche: Elektropoliert auf < 5 micro‑inches Ra
• Membranmaterialien: Hastelloy C‑22 oder kobaltbasierten Superlegierungen (UNS R30003)
• Sitzmaterial/-design: Vollständig gekapselter PCTFE‑Sitz
• Architektur: Null‑Totvolumen interne benetzte Kavität
• Reinraum‑Handhabung: Doppelverpackung; geeignet für Entnahme in Klasse‑100 und hochreine Montage
• Anschlussoptionen: Orbital Butt‑Weld oder VCR Face‑Seal (empfohlen)
• Prüfungen: Vakuum‑Decay und Helium‑Massenspektrometer‑Lecktests; Helium‑Test vor Versand
• Betriebliche Hinweise: Für beheizte Gasleitungen ausgelegt; gleichmäßige Heizung sicherstellen und maximale Temperatur nicht überschreiten