Membranventil HD

pneumatischDurchflussbegrenzungIsolation

Pneumatisches Membranventil HD Series — 316L Edelstahl, hochrein, Hochdruck für Laborspezialgase

Anwendung und Zweck
Das pneumatische Membranventil HD Series ermöglicht automatisierte Durchflussregelung und Absperrung in hochreinen Labor-Gassystemen. Entwickelt für Halbleiter-, Analyse- und Forschungseinrichtungen, steuert es hochdruckfähige Spezialgase (brennbar, giftig, inert) und lässt sich in Sicherheitsverriegelungen zur Fern- und reproduzierbaren Bedienung integrieren.

Kerntechnische Merkmale

• Hochdruckwerkstoff: Gehäuse aus 316L VIM-VAR Edelstahl, Betriebsdruck bis zu 3.000 psig abhängig von der Konfiguration.
• Hochreine Oberflächen: Benetzte Wege präzisionsbearbeitet auf Ra 10 μin oder weniger (typisch bis Ra 5 μin) zur Minimierung von Partikelbildung und Feuchtigkeitsbindung.
• Hermetische Membrandichtung: Metall-zu-Metall-Diaphragma ohne elastomere Dichtungen, Heliumleckrate unter 1×10-9 atm cc/sec.
• Pneumatische Automatisierung: Erhältlich in normalerweise geschlossen (NC) oder normalerweise offen (NO) mit pneumatischem Stellglied für funkenfreie, schnelle Zyklen.

Installation und Sicherheitshinweise
In sauberer Umgebung handhaben und installieren. Verwenden Sie die integrierte VCR Face‑Seal- oder Rohr‑Stumpfschweißverbindung mit neuen Dichtungen. Versorgen Sie das Stellluftsystem mit sauberer, trockener Luft auf dem angegebenen Pilotdruck. Vor Inbetriebnahme mit aktiven Gasen Heliumlecktest und Stickstoffspülung durchführen.

HD SERIES
HOCHDRUCK-PNEUMATISCHES MEMBRANVENTIL

Eigenschaften
Gehäuse

• Gehäuse aus 316L VIM-VAR Edelstahl für Anwendungen mit ultrahoher Reinheit.
• Innenflächenbearbeitung bis Ra 5 μin möglich; Durchflusskanal vollständig reinigbar.
• Minimierte Toträume zur Erleichterung der Spülung und Maximierung des Durchsatzes.

Membran

• Optionen Hastelloy C-22 oder kobaltbasierte Superlegierung (UNS R30003) für Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit.
• Optimierte Auslegung für lange Zyklenlebensdauer.

Sitz

• Vollständig eingeschlossener PCTFE-Sitz widersteht Quellen und Kontamination, verbessert Heliumdichtheit und reduziert Partikelbildung.
• Hochreine Montage und Verpackung, geeignet für die Halbleiterindustrie.
• Jedes Produkt wird vor Versand einem Heliumtest unterzogen.

Technische Daten
Maße in Millimetern sind Richtwerte und können je nach Ausführung abweichen.

Bestellinformation
Standardkonfigurationen umfassen NC/NO pneumatische Stellglieder, VCR Face‑Seal- oder Stumpfschweißenden sowie Optionen für Diaphragma- und Sitzmaterialien. Siehe Bestelltabellen auf der Produktseite.

Technische Spezifikationen

• Gehäusematerial: 316L Edelstahl (VIM-VAR)
• Max. Betriebsdruck: bis zu 3.000 psig (siehe Produkttabellen für spezifische Konfigurationen)
• Innenoberfläche: bis Ra 5 μin (typisch Ra ≤ 10 μin für benetzte Wege)
• Dichtheit: Heliumleckrate < 1×10-9 atm cc/sec (Metall‑zu‑Metall‑Diaphragma)
• Diaphragmamaterialien: Hastelloy C-22 oder kobaltbasierte Superlegierung (UNS R30003)
• Sitzmaterial: vollständig eingeschlossenes PCTFE
• Antrieb: pneumatischer Antrieb; verfügbar als NC (Normally Closed) oder NO (Normally Open)
• Anschlussarten: integrierte VCR Face‑Seal oder Rohr‑Stumpfschweißverbindung
• Reinheit: hochreine Montage und Verpackung; Heliumtest an jeder Einheit
• Anwendungen: Laborspezialgase, Gasversorgung in der Halbleiter- und Analytikbranche, Gaschromatographie, Forschungsinstitute