Membranventil LD

pneumatischmanuellIsolation

Produktübersicht
Das Jewellok LD SERIES Membranventil aus 316L VIM‑VAR Edelstahl für ultrahohe Reinheit bietet Fluidisolierung für Halbleiter‑Gasverteilungssysteme. Für den Reinraum konzipiert, steuert es spezielle, gefährliche und korrosive Gase in Ventilverteilerkästen, Gasschränken und Point‑of‑Use‑Anschlüssen, bei denen Kontaminationsfreiheit gefordert ist.

Kerntechnik

• VIM VAR Metallurgie: Doppeltes Vakuumschmelzen und Schmieden von 316L Edelstahl zur Reduzierung nichtmetallischer Einschlüsse, Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit und Minimierung der Gefahr der Wasserstoffversprödung.
• Elektropolierte benetzte Wege: Interne Strömungskanäle elektropoliert auf eine ultra‑glatte Oberfläche (< 5 μin Ra) zur Begrenzung von Partikelansammlungen und zur Verbesserung der Spüleffizienz.
• Hermetische Membrandichtung: Metall‑auf‑Metall‑Membrandichtung aus hochbelastbaren Legierungen ohne weiche Elastomere; Heliumleckrate < 1×10-9 atm·cc/s.
• Null Totvolumen: Optimierte Innengeometrie verhindert virtuelle Lecks und Fluidstagnation und schützt submikron‑Waferprozesse vor Spurenverunreinigungen.

Installations‑ und Sicherheitsprotokolle
Ventile werden doppelt verpackt für Reinraumhandhabung geliefert. Nur in zertifizierten Reinräumen installieren. Gehäuse nach Flussrichtung ausrichten und mit integrierten VCR‑Flachdichtungen mit Metalldichtungen anschließen. Vor Einführung toxischer oder pyrophorer Medien Heliumlecktest und Stickstoffspülung durchführen. Regelmäßige Inspektionen einplanen, um die Funktion pneumatischer oder manueller Antriebe sicherzustellen.

LD SERIES — Niederdruck‑Handmembranventil
Eigenschaften

• Gehäuse: 316L VIM‑VAR Edelstahl geeignet für ultrahohe Reinheitsanforderungen; benetzte Oberflächenrauheit < 5 μin Ra; Konstruktion minimiert Einlagerungsbereiche, erleichtert Spülen und maximiert Durchflusskapazität.

Membran

• Hastelloy C‑22 oder kobaltbasierten Superlegierungen (UNS R30003) für hohe Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit; ausgelegt für lange Lebensdauer bei Zyklenbetrieb.

Sitz

• Vollständig umschlossener PCTFE‑Sitz, widerstandsfähig gegen Aufquellen und Kontamination, reduziert Partikelbildung und verbessert Heliumleckverhalten; montiert und verpackt nach strengen Reinheitsvorschriften.
• Jedes Produkt wird vor Versand einem Heliumlecktest unterzogen.

Technische Daten
Referenzzeichnungen und Strömungskanaldiagramme werden bereitgestellt (Abmessungen in Millimetern; Änderungen vorbehalten).

Strömungskanalform
Optimierte Kanalgeometrie zur Verringerung von Totvolumen und Verbesserung der Spüleffizienz.

Bestellinformationen
Standardbestellspezifikationen und Modellkonfigurationen verfügbar; siehe Bestelltabellen oder Produktdokumentation für Optionen.

Technische Spezifikationen

• Brand: Jewellok
• Series / Model: LD SERIES
• Body material: 316L VIM‑VAR stainless steel (double vacuum melted)
• Wetted path finish: Electropolished, surface roughness under 5 micro inches Ra
• Diaphragm materials: Hastelloy C‑22 or cobalt‑based superalloys (UNS R30003)
• Seat material: Fully contained PCTFE
• Sealing: Metal‑to‑metal hermetic diaphragm (no soft elastomers)
• Helium leak rate: < 1×10-9 atm·cc/s (helium mass spectrometer test)
• Design: Zero dead volume, optimized internal architecture to prevent virtual leaks
• Packaging: Double‑bagged for cleanroom handling
• Applications: Semiconductor gas distribution systems, valve manifold boxes, gas cabinets, point‑of‑use tool hookups