3D-Messsystem MicroProf® FEfür Wafer
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Eigenschaften
- Technologie
- 3D
- Gemessenes Produkt
- für Wafer
Beschreibung
Der FRT MicroProf® FE ist FormFactors vollautomatisches Standardwerkzeug für die 2D/3D-Wafer-Metrologie. Es kombiniert die Fähigkeiten des bewährten MicroProf 300 mit einem Wafer-Handling-System in einem Equipment Front End Module (EFEM). Mit vollständig SEMI-konformen Metrologielösungen und nahezu wartungsfreien Hardware-Komponenten, die eine Inspektion mit hohem Durchsatz ermöglichen, ist der MicroProf FE die Metrologielösung für jede Front-End-HVM-Fertigung.
Neben der Standardkonfiguration kann der FRT MicroProf FE mit zahlreichen zusätzlichen Funktionen ausgestattet werden, die auch später nachgerüstet werden können.
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.