Schnelles Erreichen höherer Vakuumwerte
Die Kryokühler Edwards Polycold® MaxCool sind kryogene Kühlsysteme mit geschlossenem Prozess, die Wasserdampf effektiv einfangen. Dieser macht 65 % bis 95 % des Restgases in Hochvakuumsystemen aus.
Diese Kryokühler können verwendet werden, um Wasserdampf und andere kondensierbare Substanzen aufzufangen, indem sie auf einer kalten Oberfläche wie einer Kryospirale oder einem Chevron-Baffle gefrieren. MaxCool-Kryokühler werden auch zum Kühlen und Erwärmen von Objekten wie z. B. elektrostatischen Chucks für die Halbleiterwaferproduktion eingesetzt. Die verschiedenen Modelle unserer Serie liefern 2.000, 2.500 bzw. 4.000 Watt Kühlung.
Pumpen von Wasserdampf
Wasserdampf ist in der Regel die reaktivste vorhandene Verunreinigung in Hochvakuumsystemen. Mit unseren MaxCool-Kryokühlern können Sie den Produktdurchsatz in Ihrem bestehenden System um 20 % bis 100 % steigern und die Qualität der Abscheidung verbessern.