Turbomolekularpumpe iXL

trockeneinstufigPlasma

Die trockenlaufenden Pumpen der Edwards iXM-Baureihe mit geringem Energieverbrauch können echte Prozessverbesserungen bei Ihren wichtigsten Anwendungen bringen: Sie glänzen mit erhöhter Betriebszeit, verringerten Umweltauswirkungen und Kostenvorteilen. Der energieeffiziente Wälzkolbenmechanismus kann den benötigten Eingangsstrom um bis zu 60 % reduzieren, dadurch verringern sich Umweltbelastung und Betriebskosten erheblich. Die Gasbarrieretechnologie und die Verbesserung des thermischen Designs ermöglichen eine viermal höhere Korrosionsbeständigkeit als bei unserer vorherigen Baureihe. Fortschrittliches Pulverhandling sorgt für maximale Zuverlässigkeit und eine längere Lebensdauer der Pumpe bei mehrschichtigen Ätzprozessen. Reduzierter Stromverbrauch bei CVD-Prozessen Die kompakte und leichte Bauweise, kombiniert mit außergewöhnlich geringem Geräusch- und Vibrationspegel, bietet Ihnen mehr Vielseitigkeit. Die iXM-Baureihe ist mit XCEDE-Technologie für verbesserte Korrosionsbeständigkeit erhältlich.