Absolutes Längenmessgerät zum Einsatz im Vakuum
Für Linearachsen mit hoher Verfahrgeschwindigkeit
Ausführung mit sehr kleinem Messschritt (<1 nm)
Schnittstellen: EnDat, Fanuc, Mitsubishi, Panasonic und Yaskawa
Vakuumtaugliche Leiterplatten, Kleber und Lacke reduzieren das Ausgasen
Entlüftete Hohlräume verkürzen die Pumpzeit
Temperaturbeständigkeit erlaubt hohe Aufheiztemperaturen
Verzicht auf ferromagnetische Materialien für hohe Prozesssicherheit
Ausheizen vor dem Verpacken garantiert höchste Sauberkeit
Speziell für Hochvakuum
Die Vakuumtechnik spielt bei vielen modernen Produktionsverfahren und Forschungsaufgaben eine wichtige Rolle. So sind vakuumtechnische Verfahren in der Elektronik, Dünnschichttechnologie, Entwicklung neuer Werkstoffe, Biotechnik und in der Medizin- bzw. Analysetechnik unverzichtbar geworden.
Hohe Verfahrgeschwindigkeit
Längenmessgeräte LIC erlauben trotz hoher Genauigkeit sehr schnelle Verfahrbewegungen. Mit Messschritten von nur 1 nm sind Geschwindigkeiten bis 600 m/min möglich. Die Positionswerte werden absolut und dank der hohen Verschmutzungsresistenz besonders sicher erfasst.