Sputter-Auftragsmaschine / Metallisierung FLC

für Automobilanwendungen

Kurzbeschreibung
Die LEYBOLD OPTICS FLC series umfasst Rolle-zu-Rolle Hochvakuum-Sputter-Beschichtungssysteme für Forschung & Entwicklung sowie Produktion. Modular aufgebaut und bestückbar mit bis zu sechs rotierenden Kathoden, ermöglicht die Serie Multilagenabscheidungen in einem Durchlauf und ist in Beschichtungsbreiten 650 mm, 1600 mm und 2000 mm erhältlich.

Hauptvorteile

• Mehrlagige Beschichtung in einem Durchlauf durch optionale Gasseparation zwischen Prozessabschnitten, sodass Metall-/Dielektrika-Stapel in einem Lauf möglich sind.
• Hohe Konfigurationsflexibilität: bis zu sechs rotierende Kathoden, verschiedene Stromversorgungsoptionen, In‑situ‑Messtechnik, Plasmavorbehandlung und konfigurierbare Wickelsysteme.
• Schnelle Umstellung zwischen Anwendungen durch Wechsel von Targets und Prozessrezepten bei minimalen Hardwareänderungen, geeignet für F&E und Produktionsversuche.

Besondere Merkmale

• Vielseitigkeit: Unterstützung für DC, DC unipolar gepulst, DC bipolar gepulst und MF für reaktive und nicht-reaktive Prozesse.
• Partikelkontrolle & Prozessstabilität: Sputter-up-Kathodenorientierung, Turbomolekularpumpen, Kaltfallen und temperaturgeregelte Beschichtungstrommel (Standard –15 bis +80 °C).
• Wartungszugang: Maschinenlayout ermöglicht einfachen Zugang zu Schlüsselkomponenten für Reinigung und Service.

Geeignete Substrate und Materialien

• Substrate: PET, PEN, PI, Aluminium, Edelstahl, Kupfer, flexibles Glas; maximale Rollendurchmesser bis 500 mm.
• Beschichtungsmaterialien: Metalle (Ag, Al, Cu, Cr, NiCr, Ti) und Dielektrika/Oxide (AZO, ITO, SiO2, SiN, SnO2, Nb2O5, TiO2).

Anwendungsbereiche

• Transparente leitfähige ITO-Beschichtungen für Displays und Touchscreens.
• Flexible Leiterplatten (FPCB) und Metallisierung von Folien für Rollen-Kondensatoren.
• Low‑E- und Smart‑Glass-Beschichtungen, elektrochrome Folien für Architektur- und Fahrzeugverglasung.
• Funktionelle Beschichtungen zur Verbesserung von Lithium‑Ionen‑Batterien und anderen fortschrittlichen elektronischen Materialien.

Weitere Merkmale / Technische Daten

• Modellfamilie: LEYBOLD OPTICS FLC series
• Maschinengrößen / Beschichtungsbreiten: 650 mm, 1600 mm, 2000 mm
• Typische Beschichtungsbreite (z. B. FLC 650): bis 650 mm
• Max. Rollendurchmesser Substrat: bis 500 mm
• Temperaturbereich Beschichtungstrommel: Standard –15 °C bis +80 °C
• Kathoden: bis zu sechs rotierende Kathoden; Sputter-up-Ausrichtung
• Unterstützte Stromversorgungen: DC, DC unipolar gepulst, DC bipolar gepulst, MF
• Vakuumausrüstung: Turbomolekularpumpen und Kaltfallen
• Prozessoptionen: Gasseparation zwischen Abschnitten, Plasmavorbehandlung, In‑situ‑Schichtmessung, closed‑loop Prozesssteuerung, konfigurierbares Wickelsystem