Vakuum-Beschichtungsanlage / Antireflex DLC 600

Übersicht
Der LEYBOLD OPTICS DLC 600 ist eine Präzisions-Vakuumbeschichtungsanlage, die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) einsetzt, um diamantähnliche Kohlenstoffschichten (DLC) auf optische und thermische Bildgebungskomponenten aufzubringen. Die Anlage ist auf harte, gleichmäßige und umweltbeständige DLC-Schichten ausgelegt, optimiert für IR-Antireflex- und Schutzbeschichtungen auf Ge- und Si-Substraten.

Hauptvorteile

• Breite Substratkompatibilität: Schwerkraftbasierte Halterung ermöglicht die Bearbeitung unterschiedlicher Formen und Geometrien bis zu 300 mm Durchmesser und ca. 30–40 mm Höhe.
• Gezielte IR-Leistung: Prozessparameter und Materialien sind auf Ge- und Si-Substrate abgestimmt, um die IR-Transmission zu verbessern und gleichbleibende Antireflex-Eigenschaften zu liefern.
• Langlebige DLC-Schutzschichten: Das System erzeugt extrem harte, gleichmäßige DLC-Filme mit hoher Umweltresistenz zum Schutz exponierter optischer Flächen.

Besondere Merkmale
Prozesskammer und Gasverteilung — Referenz-Uniformität: Das Gas-Shower-Design des DLC 600 sorgt für eine sehr gleichmäßige Verteilung der Prozessgase in der Kammer, gewährleistet konsistente Filmbildung und enge Dickenkontrolle über die gesamte Beschichtungsfläche — wichtig für IR- und Dunkellichtanwendungen wie Nachtsichtgeräte und Abstandssensoren.

In-situ optische Überwachung — reproduzierbare Schichtsysteme: Das integrierte OMS 5100 Optik-Monitoring kontrolliert das Filmwachstum in Echtzeit und sichert die Einhaltung vorgegebener Dicken-Toleranzen sowie hohe Reproduzierbarkeit, sodass geplante Schichtsysteme dem fertigen Produkt entsprechen.

Technische Daten

• Beschichtungstechnologie: Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) für DLC-Filme.
• Beschichtungsart: diamond-like carbon (DLC) — hart, gleichmäßig, umweltbeständig.
• Unterstützte Substrate: Germanium (Ge) und Silizium (Si), optimiert für IR-Antireflex.
• Max. Substratdurchmesser: bis zu 300 mm.
• Typische Substrathöhe: ca. 30–40 mm.
• Substrathandling: Schwerkraftbasierte Halterung für verschiedene Geometrien.
• Prozesskontrolle: OMS 5100 in-situ optische Überwachung für Dickenkontrolle und Reproduzierbarkeit.
• Gasverteilung: spezialisierte Gas-Shower für außergewöhnliche Uniformität.
• Produktcode: CUBE-00010-019.

Typische Anwendungen

• IR-Antireflex-Beschichtungen für Präzisionsoptiken.
• DLC-Schutzschichten für Nachtsichtgeräte und Wärmebildsysteme.
• Sensoren und Komponenten im IR-Bereich, die langlebige und reproduzierbare Beschichtungen erfordern.