Vakuum-Beschichtungsanlage / Antireflex SYRUSpro series

reflektierend

Übersicht
Die SYRUSpro Serie von Bühler Leybold Optics ist eine Vakuumbeschichtungsanlage für Präzisionsoptik, konzipiert für die kontinuierliche 24/7-Massenfertigung optischer Filter im Spektralbereich DUV, VIS und IR. Sie bietet konfigurierbare Systemlösungen für anspruchsvolle Beschichtungsanforderungen und hohen Durchsatz.

Hauptvorteile

• Für anspruchsvolle Anwendungen ausgelegt: Erfüllt strenge Anforderungen für IR, DUV und extreme Wellenlängenbereiche.
• Prozessgerecht: Breite Auswahl hochwertiger Komponenten zur präzisen Anpassung an Prozessanforderungen.
• Hohe Flexibilität: Acht Kammergrößen zur Anpassung an Ladekapazität und Substratabmessungen.

Besondere Merkmale

• Kammeroptionen: Acht Kammergrößen mit Innendurchmessern von 710 mm bis 2800 mm zur exakten Anpassung an Lade- und Substratgrößen.
• Auswahl an Beschichtungen: Unterstützt Kantenfilter (Kurz-/Langpass), UV/IR-Sperrfilter, Notch- und schmale Bandpassfilter, dichroitische Farbfilter, Polarisationsstrahlteiler sowie AR- und HR-Beschichtungen für Laser und weitere spezialisierte optische Beschichtungen.
• Flexibilität der Hauptelemente: Konfigurierbar mit in-situ optischer Überwachung, Plasmaquellen, vielfältigen Elektronenstrahl- und Thermoverdampfern, Quarz-Kristall-Messung (QCM) und verschiedenen Substrathaltersystemen.

Weitere Funktionen

• Automatisierung: Fortschrittliche Prozesssteuerung mit hoher Programmierflexibilität und großem Automatisierungsgrad für effiziente Dauerproduktion.
• DUV-Optimierung: Optionen für speziell behandelte Kammeroberflächen, ausgewählte Materialien und maßgeschneiderte Komponenten-Konfigurationen für verlustarme Beschichtungen bei 193 nm Fotolithografie.
• IR-Anwendungen: Anpassungen für hohen Materialdurchsatz bei IR-Beschichtungen und gleichmäßige Schichtqualität auf flachen und stark gekrümmten Substraten.
• Individuell konfigurierbar: Bühler Leybold Optics unterstützt bei der Spezifikation passender Konfigurationen zur Erreichung gewünschter Qualität, Effizienz und Zuverlässigkeit.

Downloads

• Brochure Precision optics (PDF)
• Technische Daten: Syruspro series (PDF)

Charakteristika / Spezifikationen

• Serie / Modell: SYRUSpro
• Einsatz: 24/7 Massenfertigung optischer Filter
• Spektralbereiche: DUV, VIS, IR
• Kammergrößen: 8 Optionen; Innendurchmesser 710 mm bis 2800 mm
• Unterstützte Beschichtungen: Kantenfilter, UV/IR-Sperre, Notch, schmale Bandpassfilter, dichroitische Farbfilter, Polarisationsstrahlteiler, AR/HR für Laser, etc.
• Konfigurierbare Komponenten: in-situ optische Überwachung, Plasmaquellen, Elektronenstrahl- und Thermoverdampfer, QCM, Substrathaltersysteme
• Automatisierung: fortschrittliche Prozesssteuerung mit hoher Programmierflexibilität für Dauerproduktion
• DUV-Optimierung: spezielle Kammeroberflächen und ausgewählte Materialien für verlustarme 193 nm Beschichtungen
• IR-Fähigkeit: ausgelegt für hohen Materialdurchsatz und gleichmäßige Beschichtungen auf flachen und gekrümmten Substraten