Absolutdrucksensor SE102

piezoresistivanalogProzess

Das Modell SE102 ist als piezoresistiver Drucksensor konzipiert. Dank seiner Konstruktion verfügt das Modell SE102 über einen hohen Überlastdruck (HOP), d.h. einen hohen Prüfdruck und einen hohen Berstdruck. Der HOP ermöglicht es dem Sensor-Chip, enormen Druckspitzen während transienter Prozesse in der Anwendung standzuhalten. Die Drucksensorchips werden im 6″-Wafer-Silizium-auf-Silizium-Verfahren mit MEMS-Technologie hergestellt. Das einzigartige Design seiner Druckmembran führt dazu, dass der SE102 sowohl eine hohe Empfindlichkeit des Ausgangssignals als auch eine außerordentliche Widerstandsfähigkeit gegen Überlastdrücke aufweist. Dieses Modell ist für Absolut-, Überdruck- oder Differenzdruckmessungen ausgelegt. Für Überdruck- oder Differenzdruckreferenzen sind zwei Arten von Strukturen verfügbar. Die eine ist die Silizium-auf-Silizium-Struktur, d.h. mit Silizium-Zwang, die andere ohne Silizium-Zwang. Als nicht-signalkonditionierter Sensorchip ist der SE102 standardmäßig in einer offenen Brückenschaltung mit fünf Lötpads sowohl für die Brückeneinstellung als auch für die Temperaturkompensation erhältlich. Vor dem Verpacken wird jeder SE102-Sensor-Die einzeln getestet und gemäß seinen Spezifikationen qualifiziert. Drei Arten von Verpackungen stehen als Optionen zur Verfügung, um unterschiedlichen Marketinganforderungen gerecht zu werden.