STEINMEYER Mehrachsen-Positioniersysteme

Wiederholbarkeit: 1 µm
Ladung: 15 kg
Hub: 200 mm - 1.000 mm

XYZ Gantry für hochdynamische Anwendungen Kundenspezifisch anpassbar • Ideal für hochpräzise und dynamische Anwendungen • Sehr großer Verfahrbereich von 1300 x 800 x 200 mm • Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten kombiniert ...

Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 2,5 µm
Ladung: 5 kg - 20 kg
Hub: 100 mm - 720 mm

XYZ-Doppel-Inspektionsportal für Halbleiter Kundenspezifisch anpassbar • Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern / Halbleitern • Sehr großer Verfahrbereich von 2 x je 720 x 720 x 100 mm • Erlaubt die Integration von zwei ...

Wiederholbarkeit: 0,005 µm - 4,4 µm
Ladung: 5 kg - 25 kg
Hub: 100 mm - 365 mm

8-Achs-Positioniersystem / Goniometer Kundenspezifisch anpassbar • Automatisierte 8-Achs-Inspektion aus verschiedenen Winkeln • Koaxiales Drehsystem, welches die Kameras / Sensoren / Beleuchtung um einen gemeinsamen ...

Wiederholbarkeit: 0,001 µm - 4,4 µm
Hub: 1,5 mm - 100 mm
Geschwindigkeit: 0,4 mm/s - 1.400 mm/s

... 0.5 µm • Apertur von 45 mm für den Strahlengang • Luftgelagerter Drehtisch für Genauigkeiten bis 0.0005° Dieses Positioniersystem erlaubt eine Tangential-Abtastung in 6 Freiheitsgraden mit einer sehr hohen Wiederholbarkeit. ...

Ladung: 0 g - 2.000 g
Hub: 3 mm - 4 mm
Geschwindigkeit: 0,4 mm/s - 5 mm/s

MP200-3 Miniatur-Z-Phi-Delta-Positioniersystem, Tripod Als Ergänzung zum Aligner MP200-5, welcher ein Verstellen in fünf Freiheitsgraden ermöglicht, wurde dieser Aligner mit drei Freiheitsgraden konstruiert. Er besteht ...

Wiederholbarkeit: 0,001 µm - 0,7 µm
Ladung: 500 kg
Hub: 10 mm - 10 mm

MP53-2-1 Miniatur-XY-Phi-Positioniersystem Phi-XY-System mit Piezomotor Dieser Manipulator besteht aus zwei Lineartischen MT53, welche zum XY-System verbunden sind und die Positionierung in der Horizontalen vornehmen. ...

Wiederholbarkeit: 0,001 µm - 3,5 µm
Ladung: 6,5 kg
Hub: 4 mm - 20 mm

6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern und Optiken bis 300 mm / 12" • Hohe Wiederholgenauigkeit von ...