Mehrachsen-Positioniersystem

automatischfür die Halbleiterindustrie

Halbleiter-Lösungen Wir können Ihnen die perfekten, individuell abgestimmten Lösungen für Ihre herausfordernden Aufgabenstellungen bieten, egal, ob Ihre Anfragen aus dem Frontend oder Backend kommen. Sehr spezielle Ansprüche in Bezug auf extrem kurze Entwicklungszeiten sowie bei Produktionsanlauf und Produktabkündigung werden von unserem Team, das seit mehr als 25 Jahren für die bekanntesten Unternehmen in der Halbleiter-Branche arbeitet, perfekt erfüllt. Unsere Welt ist Stabilität im Nanometerbereich sowie Einschwingzeiten im Bereich von ms. Wir verstehen Ihre Bedürfnisse bestens und wandeln Sie in vollständig integrierte Bewegungslösungen um. Spezifikationen für Halbleitersysteme am POI* - Konfiguration: XYTZ oder + Z - Verfahrweg: bis zu 600 x 750 mm (450 mm-Wafer) - Genauigkeit: ≤ 1 µm (über den gesamten Messbereich, gemappt) - Reproduzierbarkeit: ≤ 0,1 µm - Stabilität: ≤ 2 nm (innerhalb von 1s ptp) - Einschwingzeit: < 100 ms für 25 mm - Cst-Geschwindigkeit: < 0,01 % bei <100 mm/s - Straightness: < 5um over TIRGeradheit: < 5 µm über den gesamten Messbereich - Ebenheit: < 5 µm über den gesamten Messbereich