3-Achsen-Positioniersystem

Portalfür Wafer-Inspektion und Metrologie

Kundenspezifische Lösungen für Flat Panel Displays Unsere Lösung für die anspruchsvolle FPD-Branche deckt alle Verfahren von der automatischen optischen Inspektion (AOI) über Array-Prüfung bis hin zu PhotoSpace-Messungen ab. Mehr als 800 Systeme sind weltweit installiert worden. Einige Systeme werden direkt in Asien hergestellt und montiert. Um die Gesamtkosten für SCHNEEBERGER-Innovationen zu verringern, haben wir unsere eigene Alternative für Granit entwickelt: Mineralguss.Durch die sehr guten Dämpfungseigenschaften des Mineralgusses wird beispielsweise das Gesamtgewicht des Systems reduziert, wodurch sich Abwicklungs- und Transportkosten verringern. Erfahren Sie mehr über Mineralguss ... Spezifikationen für Großformatsysteme am POI* - Konfiguration: XYZ oder + Z (Portal) - Verfahrweg: bis zu 3500 x 2700 mm - Genauigkeit: ≤ 10 µm (über den gesamten Messbereich, gemappt) - Reproduzierbarkeit: ≤ 2 µm - Stabilität: ≤ 10 nm (innerhalb von 1s ptp) - Einschwingzeit: < 500 ms für 300 mm - Cst-Geschwindigkeit: < 0,01 % bei <100 mm/s - Geradheit: < 20 µm über 3000 mm - Ebenheit: < 20 µm über 3000 mm