HORIBA Durchflussregler

... Dies ist das meistverkaufte Modell von HORIBA für digitale Massendurchflussregler. Er verfügt über Mehrbereichs/Multigas-Funktionen, die es dem Benutzer ermöglichen, die Gasart oder die Durchflussmenge vor Ort schnell und einfach zu ändern. Mit einer ...

... Die SEC-N100 Serie ist für eine Vielzahl von Industrien und Anwendungen geeignet. Dieser Massendurchflussregler kann einen breiten Bereich von Durchflüssen regeln: von 10 SCCM bis 1000 SLM. Die SEC-N100 Serie verfügt außerdem über verschiedene Kommunikationsarten, ...

Durchsatz: 3 l/min - 150 l/min
Druck: 1 bar - 3 bar

Druck: 1 bar - 3 bar

... Druckunempfindlicher Massendurchflussregler Die SEC-Z700X Serie ist mit zuverlässigen thermischen Sensoren und einer druckunempfindlichen Funktion für eine stabile Durchflussregelung ausgestattet. Die integrierte Druckmessung reduziert Kosten, Größe ...

Durchsatz: 0 us gal/min - 100 us gal/min
Druck: 1 bar - 3 bar

... Bei den Serien LF-F und LV-F handelt es sich um digitale Massendurchflussregler für Flüssigkeiten, die mit einem Peltier-Element arbeiten, das die Flüssigkeit kühlt, anstatt die übliche Methode der thermischen Erwärmung anzuwenden. Diese Technik beseitigt ...

Druck: 3, 4 bar

... Der GR-511F kann Gase steuern, die zur Kühlung der Rückseite von Wafern verwendet werden, die durch ein elektrostatisches Chuck-System fixiert sind. Dank seiner Stabilität und Genauigkeit ist der GR-511F ideal für die Steuerung des Helium- und Argonflusses ...

Durchsatz: 0 l/min - 2 l/min

... Dieser universell einsetzbare Massedurchflussregler verfügt über einen zuverlässigen thermischen Sensor und ein Magnetventil, mit denen Sie den Gasdurchfluss auf hohem Niveau regeln können. Als vielseitiges Bauteil kann der Massendurchflussregler der ...