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Durchsatz: 0 l/min - 2.500 l/min
Druck: 310, 70, 103 bar
Mit den Massendurchflussreglern und -messgeräten der Serie SLA5800 schaffen Sie viel: Sie können innerhalb eines Prozesses mit nur einem Durchflussmesser vierzehn unterschiedliche Druck- oder Durchflussraten messen. So profitieren Sie ...
Brooks Instrument
Durchsatz: 0 l/min - 300 l/min
Druck: 7 psi - 90 psi
Die schnellsten und genauesten MFC`s Erhöhte Geschwindigkeit durch EtherCAT® Für Halbleiterprozesse perfektionierte Leistung • Echtzeit EtherCAT® -Datenerfassung durch eingebettete Diagnose • Ultra-stabiler Durchflusssensor (Drift ...
Brooks Instrument
Druck: 0 psi - 150 psi
Die GP200-Serie ist der erste seiner Art: Ein komplett druckunempfindlicher, druckbasierter Massendurchflussregler (P-MFC), der speziell für fortschrittliche Ätz- und Abscheidungsprozesse in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Die ...
Brooks Instrument
Durchsatz: 0 l/min - 100 l/min
Druck: 0 psi - 145 psi
Brooks Instrument
Durchsatz: 0 l/min - 100 l/min
... Für Sie bedeutet das: Hochpräzise Durchflussregelung für viele Gas- und Flüssigkeitsanwendungen. Manuelle Schwebekörperdurchflussregler können nicht nur als eigenständige Durchflussregler verwendet ...
Brooks Instrument
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