Massendurchflussregler 5850EMH

für GasEdelstahlanalog

Bewährte Langzeitstabilität. Hochreine Leistung für Hochtemperaturanwendungen. Der metallisch abgedichtete Hochtemperatur-Massedurchflussregler der Serie 5850EMH von Brooks Instrument bietet modernste Leistung bei der Messung und Regelung von Gasen bei hohen Temperaturen und kombiniert die hervorragende Dichtigkeit von Metalldichtungen mit einer Vielzahl von Optionen, die eine maximale Anwendungsflexibilität ermöglichen. Das Herzstück der Serie 5850EMH ist der hochstabile Sensor, der ein elektrisches Ausgangssignal liefert, das linear mit der Durchflussrate ist. Dieses Signal wird für Anzeige-, Aufzeichnungs- und/oder Steuerzwecke verwendet, ohne dass ein Auto-Zero-Kreis erforderlich ist. Merkmale - Hohe Lecksicherheit (weniger als 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He) - Hochreiner VAR 316L-Edelstahl - Partikelfrei Helium-Leckprüfanschlüsse - Normalerweise geschlossenes Ventil (normal offenes Ventil optional) - Elektrisch betätigte Ventilüberbrückung - Durchflussabschaltung bei niedrigem Befehl - TTL-kompatible "Ventil-Aus"-Funktion Vorteile - Stabile, bewährte Produktplattform - Ganzmetall-Durchflussweg verbessert die Gasreinheit und reduziert Leckagen - Einfache Installation und Wartung mit nur analogen Ein-/Ausgängen Anwendungen Herstellung von optischen Fasern - MCVD, OVD, AVD Wasserdampf-Durchflusskontrolle