Differenzdruck-Durchflussregler GP200

Massenfür Gasanalog

Die GP200-Serie ist der erste seiner Art: Ein komplett druckunempfindlicher, druckbasierter Massendurchflussregler (P-MFC), der speziell für fortschrittliche Ätz- und Abscheidungsprozesse in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Die P-MFCs der Serie GP200 verwenden eine patentierte Architektur, die die Beschränkungen herkömmlicher P-MFCs überwindet. Selbst bei Zufuhr von Prozessgasen mit niedrigem Dampfdruck ermöglichen sie eine äußerst präzise Prozessgaszufuhr. Viele Konstruktionsmerkmale der Serie sind einzigartig, wie zum Beispiel der integrierte Differenzdrucksensor mit nachgeschaltetem Ventil. Diese Konstruktion erlaubt die auf dem Markt derzeit präziseste Prozessgaszufuhr unter sehr unterschiedlichen Betriebsbedingungen. Da die GP200-Serie ein so breites Spektrum an Prozessbedingungen unterstützt, kann sie als Drop-in-Ersatz und Upgrade für viele herkömmliche P-MFCs und thermische MFCs verwendet werden. Sie macht das Gasversorgungssystem weniger komplex und gleichzeitig kostengünstiger, da sie ohne Komponenten wie Druckregler und Messwandler auskommt. Merkmale Echte Differenzdruckmessung Betrieb mit niedrigerem Eingangsdruck Nachgeschaltete Ventilanordnung Angepasstes Einschwingverhalten Zero Leak-by-Regelventil Die MultiFlo™-Technologie bietet unvergleichliche Flexibilität – ein Gerät kann für Tausende verschiedener Gase und Durchflussbereiche konfiguriert werden, ohne dass der MFC von der Gasleitung entfernt werden muss oder die Genauigkeit beeinträchtigt wird Lokales Display zeigt Durchfluss, Temperatur, Druck und Netzwerkadresse an DeviceNet™, EtherCAT®, RS-485 L-Protokoll und analoge Schnittstellen