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... können, ohne den Massendurchflussregler von der Gastafel oder den Rohrleitungen zu entfernen. Dadurch wird die Anzahl der benötigten Ersatz-Massedurchflussregler reduziert, was sowohl Zeit als auch Kosten spart. Der Massendurchflussregler ...
HORIBA STEC
... Die SEC-N100 Serie ist für eine Vielzahl von Industrien und Anwendungen geeignet. Dieser Massendurchflussregler kann einen breiten Bereich von Durchflüssen regeln: von 10 SCCM bis 1000 SLM. Die SEC-N100 Serie verfügt außerdem über verschiedene ...
HORIBA STEC
Durchsatz: 3 l/min - 150 l/min
Druck: 1 bar - 3 bar
HORIBA STEC
Druck: 1 bar - 3 bar
... Druckunempfindlicher Massendurchflussregler Die SEC-Z700X Serie ist mit zuverlässigen thermischen Sensoren und einer druckunempfindlichen Funktion für eine stabile Durchflussregelung ausgestattet. Die integrierte Druckmessung reduziert ...
HORIBA STEC
Durchsatz: 0 us gal/min - 100 us gal/min
Druck: 1 bar - 3 bar
... Bei den Serien LF-F und LV-F handelt es sich um digitale Massendurchflussregler für Flüssigkeiten, die mit einem Peltier-Element arbeiten, das die Flüssigkeit kühlt, anstatt die übliche Methode der thermischen Erwärmung anzuwenden. Diese ...
HORIBA STEC
Druck: 3, 4 bar
... Der GR-511F kann Gase steuern, die zur Kühlung der Rückseite von Wafern verwendet werden, die durch ein elektrostatisches Chuck-System fixiert sind. Dank seiner Stabilität und Genauigkeit ist der GR-511F ideal für die Steuerung des Helium- und Argonflusses ...
HORIBA STEC
Durchsatz: 0 l/min - 2 l/min
... Niveau regeln können. Als vielseitiges Bauteil kann der Massendurchflussregler der Serie sec-e in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt werden. Der Gasdurchfluss durch den Massendurchflussregler kann über eine Reihe ...
HORIBA STEC
Durchsatz: 1 l/min - 5 l/min
Druck: 3 bar
... Die Piezo-Aktuator-Ventilserie PV besteht aus Piezo-Aktuator-Ventilen mit Metallmembranen und Metall-O-Ringen. In Kombination mit einem Drucksensor oder einem Durchflusssensor und einer Verhältnissteuereinheit (PCU-Serie) können Sie die Piezo-Aktuatorventile ...
HORIBA STEC
![FCTechnik - Gas Control Systems - flox[on] MFC](https://img.directindustry.de/images_di/logo-pp/L118821.gif){kind=logo}
Durchsatz: 1 l/min - 250 l/min
Druck: 16 bar
... Bei allen flox[on] B Massedurchlussregler basiert die Messung auf der Grundlage der thermischen Anemometrie, die Messzelle befindet sich in einem Bypass. Für die Durchflussmessung wird ein druckkompensiertes Proportionalventil verwendet. Dieses ...
FCTechnik - Gas Control Systems - flox[on] MFC
Durchsatz: 1 l/min - 1.200 l/min
Druck: 16, 70 bar
... flox[on] S Massedurchflussregler (MFC) für Gase. Regelung von Durchflussmengen von 70 bis 1650 Nl/min bei einem Betriebsdruck bis zu 16 bar. Die Geräte der flox[on] Serie enthalten ein druckkompensiertes Proportionalventil, das eine gewünschte Mengenregelung ...
FCTechnik - Gas Control Systems - flox[on] MFC
Durchsatz: 30 l/min - 5.000 l/min
Druck: 16 bar
... flox[on] J Massedurchflussregler (MFC) für Gase. Regelung von Durchflussmengen von 1200 bis 7000 Nl/min bei einem Betriebsdruck bis zu 16 bar. Die Geräte der flox[on] Serie enthalten ein druckkompensiertes Proportionalventil, das eine gewünschte ...
FCTechnik - Gas Control Systems - flox[on] MFC
... Der flox[on] Massedurchflussregler wurde speziell für den Einsatz in der Schwerindustrie entwickelt. Die einzigartige Robustheit und Betriebssicherheit der Konstruktion gewährleistet einen wartungsfreien Betrieb und eine bedienerfreundliche Regelung mit ...
FCTechnik - Gas Control Systems - flox[on] MFC
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