Ionenquelle DC

6cm x 30cm DC-Ionenquelle Linearquelle für große/breite Substrate oder große Substratchargen Die bewährten linearen Gitter-DC-Ionenquellen von Veeco sind ideal für hochgradig einheitliche, zuverlässige Ionenstrahl-Depositionsprozess-Plattformen mit großen/breiten Einzelsubstraten oder großen Substratchargen. Sie sind eine ausgezeichnete Ressource für die lineare oder zylindrische Befestigung. Mit dem gleichen innovativen Design, der gleichen Qualität und Zuverlässigkeit wie die Rundstrahlquellen von Veeco Bietet gleichmäßiges Plasma und hohe Stromdichte Unterstützt einen breiten Strahlenergiebereich von 50 bis 2000 eV mit Nennstrahlströmen pro Quelle bis 500 mA Die Stromversorgungsoptionen ermöglichen Strahlströme bis zu 800 mA