Ionenstrahl-Gravursystem NEXUS® IBE-350Se™
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Eigenschaften
- Technologie
- Ionenstrahl
Beschreibung
Die VERBINDUNG IBE-350Se Reihe des Elektronenstrahl-Stich-Systems, hergestellt durch VEECO, ist spezifisch in der intensiven Energieerzeugung mit dem verbesserten Substratabkühlen entworfen. Diese Vorrichtung kann mit intensivem Durchsatz erzeugen und kann Abdruck für minimale Kosten des Besitzes verringern.
Außerdem ist dieses Produkt verwendbar, damit Gebrauch auf allgemeinem VERBINDUNG Muster sich sammelt. Es kann die Produktivität der tiefen Raumverarbeitung der ABS und der intensiven ätzungrate Anwendung maximieren.
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