Ionenquelle SOLUS™
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Beschreibung
SOLUS DC-Ionenquellen-Controller
Branchenführendes Stromversorgungssystem für Veeco's DC Gridded Ion Quellen
Der SOLUS™ DC Ion Source Controller von Veeco verfügt über ein hochmodernes Präzisionsregelsystem, das eine zuverlässige und stabile Stromversorgung für den Betrieb von Ionenquellen in allen Arten von Prozessen bietet. Integrierte Leistungsmodule und Gasflusskontrolle mit Verhältnisfunktionen ermöglichen eine optimale Steuerung der Ionenquelle und Leistung in den anspruchsvollsten Prozessumgebungen.
Einfach zu bedienende Ein-Knopf-Bedienung
Manuelle, automatisierte und entfernte Betriebsoptionen
Modernste Steuerung für verbesserte Plasmastabilität
Integrierte und konfigurierbare Gasflussregelung
Anpassbare Steuereinstellungen für einen maßgeschneiderten Quellbetrieb
Zeitsparende Fehlerbehebungsfunktionen
Nützliche Ereignisse und Statusprotokollierung
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