Segmentschütz 652 series
elektrischIsolationDruckregel

Segmentschütz
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Eigenschaften

Typ
Segmentschütz
Betätigung
elektrisch
Funktion
Isolation, Druckregel
Korpus
Aluminium
Anwendung
für die Halbleiterindustrie
Weitere Eigenschaften
kompakt, Hochleistung, für korrosive Umgebungen, mit Schrittmotor
DN

200 mm, 250 mm
(7,874 in, 9,843 in)

Temperatur

Min: 0 °C
(32 °F)

Max: 120 °C
(248 °F)

Beschreibung

Optimiert für korrosive Halbleiter- und FPD Prozesse wie Ätzen und Reinigungs-prozesse zwischen Depositprozessen. Das Ventil ist im Regelbetrieb nahezu partikelfrei. Ein grosser Vorteil ist die einfache und schnelle Wartung und der erweiterte Regelbereich.

Kataloge

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.