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- VAT Vakuumventile AG
Segmentschütz 652 serieselektrischIsolationDruckregel
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Eigenschaften
- Typ
- Segmentschütz
- Betätigung
- elektrisch
- Funktion
- Isolation, Druckregel
- Anwendung
- für die Halbleiterindustrie
- Material
- Aluminium
- Weitere Eigenschaften
- kompakt, Hochleistung, für korrosive Umgebungen, mit Schrittmotor
- DN
200 mm, 250 mm
(7,874 in, 9,843 in)- Temperatur
Max: 120 °C
(248 °F)Min: 0 °C
(32 °F)
Beschreibung
Optimiert für korrosive Halbleiter- und FPD Prozesse wie Ätzen und Reinigungs-prozesse zwischen Depositprozessen. Das Ventil ist im Regelbetrieb nahezu partikelfrei. Ein grosser Vorteil ist die einfache und schnelle Wartung und der erweiterte Regelbereich.
Kataloge
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Regelventile
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