Segmentschütz 651 series
elektrischIsolationDruckregel

Segmentschütz
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Eigenschaften

Typ
Segmentschütz
Betätigung
elektrisch
Funktion
Isolation, Druckregel
Korpus
Aluminium, anodisiertes Aluminium
Anwendung
für die Halbleiterindustrie
Weitere Eigenschaften
für korrosive Umgebungen, Motor, mit Schrittmotor
DN

Min: 160 mm
(6,299 in)

Max: 400 mm
(15,748 in)

Druck

Min: 4 bar
(58 psi)

Max: 7 bar
(101,5 psi)

Temperatur

Min: 0 °C
(32 °F)

Max: 120 °C
(248 °F)

Beschreibung

Optimiert für korrosive Halbleiter- und FPD Prozesse wie Ätzen und Reinigungsprozesse zwischen Depositprozessen. Das Ventil ist im Regelbetrieb nahezu partikelfrei. Ein grosser Vorteil ist die einfache und schnelle Wartung.

Kataloge

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.