Plasma-Generator / zur Oberflächenbearbeitung TruPlasma MW 1000

HochfrequenzautonomHoch -PE-CVD

Robuster und leistungsstarker Solid State Power Plasmagenerator für höchste Plasmadichten und Prozessanforderungen Die Generatoren der TruPlasma MW Serie basieren auf der Solid State Technologie und erzielen eine deutlich höhere Frequenzgenauigkeit als Magnetron-basierte Mikrowellengeneratoren. Das innovative Plattform-Konzept kann höchste Plasmadichten und selbst sehr anspruchsvolle Prozessanforderungen effizient und wirtschaftlich realisieren. Der modulare Aufbau ermöglicht zudem eine genau Skalierung der Ausgangsleistung. Die Stromversorgung bleibt dabei jederzeit stabil, ohne jegliche Beeinträchtigung der Prozessqualität. In der Herstellung von Halbleitern, Solarzellen und Displays sorgt die TruPlasma MW Serie dank moderner Prozessfunktionen für beste Ergebnisse und höchste Zuverlässigkeit. Ein innovatives Pulsing im Nanosekundenbereich ermöglicht beste Plasmaprozesskontrolle. In Mehrantennensystemen können verschiedene Generatoren phasensynchron betrieben und gepulst werden. Durch Variation der Phasenbezüge zwischen den einzelnen Generatoren lässt sich eine großflächige Plasmahomogenität erreichen. Profitieren Sie von hochgenauer, digitaler Frequenzmodulation, die für reproduzierbare Prozessergebnisse, höchste Schichtqualität und Produktivität sorgt. Automatische Frequenzanpassung garantiert ein optimales Prozessergebnis und eine hohe Reproduzierbarkeit. Verlassen Sie sich auf die Funktion des Generators – auch bei Fehlanpassung wird die Prozessqualität nicht beeinträchtigt. Durch die digitale Schnittstelle EtherCat können Sie das Gerät sehr schnell innerhalb einer Millisekunde steuern. Dies ermöglicht eine präzise Plasmaverteilung.