Vakuumbeschichtungssystem G4000MR

Das Vakuum-Beschichtungssystem G4000MR ist ein Beschichtungsgerät im Produktionsmaßstab, das für die Herstellung gleichmäßiger Reflexions- und Schutzschichten auf großformatigen optischen Artikeln, einschließlich astronomischer Primärspiegel, konzipiert ist. Technik und Technologie Die Konfiguration der Beschichtungsanlage und die Merkmale des Beschichtungsprozesses wurden speziell für die Bearbeitung von Gegenständen mit einem Durchmesser von bis zu 4 Metern entwickelt, wobei sich kleine, softwaregesteuerte Magnetrons mit einstellbarer Geschwindigkeit entlang einer berechneten Bahn bewegen. Die Bewegungsgeschwindigkeit der Magnetrons und die Rotationsgeschwindigkeit des Spiegels sind aufeinander abgestimmt, um eine besonders gleichmäßige Schichtdicke zu erreichen. Der Spiegel wird mit dem Gesicht nach unten positioniert und während des Zyklus mehrmals gedreht. Das G4000MR ist für die Abscheidung von Reflexionsschichten auf Aluminium, Silber und anderen Metallen vorgesehen. Eine Siliziumoxidschicht auf der Reflexionsschicht sorgt für verschleißfeste Schutzeigenschaften des Beschichtungsstapels. Vor der Schichtabscheidung wird die Spiegelfläche mit einer beweglichen Ionenquelle plasmabehandelt, um eine gute Haftung zu gewährleisten. Die Beschichtung wird mit Metall- und reaktiven Magnetron-Sputterverfahren aufgebracht. Die zirkularen Magnetrons werden mit gepulsten DC-Stromversorgungen betrieben. Vorrichtungen auf der Basis von Quarzkristallresonatoren werden zur Steuerung der Abscheidungsrate der wachsenden Dünnschicht verwendet. Das für die Beschichtung erforderliche Vakuum wird durch Kryopumpen und eine Turbopumpe sichergestellt, die an Wälzkolbengebläse und Trockenkompressionspumpen angeschlossen sind. Das Steuerungssystem gewährleistet einen vollautomatischen Prozess. Die Beschichtungsanlage und der Beschichtungsprozess können an die Anforderungen des jeweiligen Kunden angepasst werden. Substrat: großformatige astronomische Glaskeramik-Spiegel Substratdurchmesser: bis zu 4 m Anzahl der Substrate: 1 Stk.