Magnetron-Sputter-Auftragsmaschine SAF25/50

Multifunktionale F&E-Cluster-Tools SAF Anwendung Das multifunktionale F&E-Cluster-Tool SAF25/50 ist für Forschungs- und Entwicklungsarbeiten sowie für Machbarkeitsstudien und allgemeinere akademische Arbeiten im Bereich der Dünnschichttechnologien bestimmt. Ingenieurwesen und Technologie Das Gerät ist ein multifunktionales, erweiterbares, modulares und flexibles System. Die Anlage besteht aus einer Eingangs-/Ausgangskammer mit Ionenkanone, einer zentralen Substrattransferkammer mit radialem Teleskoptransportarm und bis zu 7 Abscheidekammern. Das Substrat wird waagerecht auf einem Halter positioniert. Die Abscheidezonen sind so konfiguriert, dass das Substrat während der Abscheidung nach oben gedreht oder verschoben werden kann. Die Multifunktionalität und Flexibilität des Geräts beruht auf den folgenden Hauptmerkmalen: - Jede Kammer kann dank individueller Pumpvorrichtungen, Steuerungen und Versorgungsanschlüsse unabhängig arbeiten. - Abscheidekammern und Abscheidequellen sind austauschbar. - Die zentrale Transferkammer verhindert eine Kreuzkontamination des Prozesses und gewährleistet den Substrattransfer ohne Entlüftung der Kammern. - Es können verschiedene Arten von Beschichtungsquellen integriert werden, darunter thermische Sublimationszellen, Widerstandsboote, Tiegel und Sputtermagnetrons. - Zwillings-, Einzel- und Doppel-Sputter-Magnetrons können mit Gleichstrom, gepulstem Gleichstrom, MF- und HF-Stromversorgungen betrieben werden. - Das Substrat kann kontaktbehaftet oder kontaktlos gekühlt und geheizt werden. - Ein Handschuhfach für die Beladung des Substrats unter Schutzgasatmosphäre und ein Substratmagazin können hinzugefügt werden. - Eine vorher vereinbarte Anzahl von Flanschen, die an den Kammern angebracht sind, ermöglicht die Anbringung von kundenspezifischer Instrumentierung und technologischem Zubehör.