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Poliermaschine für Metall Industrie
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Eigenschaften
- Bearbeitetes Material
- für Metall
- Merkmal
- Industrie
Beschreibung
·Durchsatz: 600 Stück/Charge, 14.400 Stück/Stunde (210-mm-Wafer); 720 Stück/Charge, 17.280 Stück/Stunde (182-mm-Wafer);
·Einstellbares Zirkulationsvolumen des Prozessbads;
·Gleichmäßige Pyramidenstruktur, einstellbare Ätztiefe;
·Waferdicke bis zu 120 µm;
·Mit sauberem Trockenbereich und selbstreinigendem Trocknungssystem;
·Geringer H₂O₂-Verbrauch;
· Schneller Inline-Badwechsel;
· Erhältlich mit MES, RFID-System, optionale Inline-Gewichtsprüfung.
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.