Fluoreszenzspektrometer WDA-3650

WDRFAProzessautomatisiert

WDA-3650 Das Spektrometer der Röntgen-Fluoreszenz WDA-3650 für Dünnfilmbewertung setzt Rigakus 30-jährige Geschichte von XRF-Oblatenanalysatoren fort, die die Geschichte der Dünnfilmgerätentwicklung widergespiegelt hat. Dieses späteste XRF-Metrologiewerkzeug trägt erheblich zum prozesskontrollierten der Metallschichtstärke, der Filmzusammensetzung und der Elementkonzentration mit neuen Funktionen und einem Entwurf niedrig-COO bei. XRF-Werkzeug für 200mm Oblaten Ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug für 200 Millimeter und kleineren Oblaten, das WDA-3650 enthält unser X-Y-θbeispielstadiumssystem des eingetragenen Warenzeichens für überlegene Auswirkungen auf schwierige Maße, wie ferrodielectric Filme. Mehrfache Kanäle ermöglichen simultanem Maß von mehrfachen Elementen des Interesses für hohen Durchsatz. Die Hochenergieentschließung dieses Wellenlänge-Dispersions-XRF-Systems, verglichen mit Energie-Dispersions-XRF-Systemen, ist besonders nützlich, Höchstdeckung herabzusetzen, wenn Elementspitzen räumlich knapp bemessen sind. Überlegenes Maß des Bors (b) Für Boranwendungen liefert der verfügbare Anzeige-Borkanal 5mal größere Empfindlichkeit als vorhergehende Modelle. Die AutoCal-Funktion und eingebaute interne der Oblate Stocker, vorher nur verfügbar auf 300mm Werkzeugen, ermöglichen voll-automatisierter täglicher Werkzeugqualifikation und Intensitätskalibrierung. Kompakter leistungsfähiger Entwurf Das WDA-3650 ist mit der grundlegenden Einheit extrem kompakt, die weniger als 1 m2 wertvollen Cleanroomraum erfordert, und es gibt keinen Bedarf am Seitenwartungsservice-Zugang. Leistungsaufnahme ist mehr als 20% verringert worden, das mit dem vorhergehenden Modell verglichen wird.