Optisches Spektrometer AirSentry® II AMC

IMSProzessÜberwachung

Die AirSentry II Ionenmobilitätsspektrometer für die molekulare Kontamination in der Luft (Airborne Molecular Contamination, AMC) erkennt und alarmiert Benutzer bei geringen Konzentrationen oder Änderungen der Luftkonzentration von Chloriden, Säuren, Aminen und ammoniakhaltigen Spezies. Mit einer Empfindlichkeit von Teilen pro Billion (ppt) bieten diese Point-of-Use-Sensoren eine schnelle Reaktion, erhöhte Erkennungsselektivität und wiederholbare Leistung. Die Kombination von Air Sentry II-Sensoren mit einer zentralen Softwareplattform ermöglicht eine einfache Datenerfassung und -analyse. Die AirSentry II-Familie luftgetragener molekularer Kontaminationssensoren liefert kontinuierlich verwertbare Daten, um eine effiziente Reaktion auf Kontaminationsquellen und -ereignisse zu ermöglichen. Hochempfindlicher Nachweis von Säuren und Basen (Säuren, Amine, Ammoniak und Chloride) Vielseitige Produktkonfiguration für Point-of-Use-, Multi-Point- und mobile Anwendungen zur Überwachung der molekularen Kontamination in der Luft Kompakte Größe ermöglicht die Platzierung an jedem Ort Ethernet, RS-232, 4-20 mA Ausgänge Kontinuierliche Überwachung der molekularen Kontamination (AMC) kritischer Stellen in der Luft Robuste und zuverlässige Datenerfassung, -kontrolle und -analyse Langfristige Datenstabilität Niedrigster Preis pro Test Echtzeit-Korrosionsüberwachung an den Stellen des Ätzprozesses Echtzeitüberwachung von Aminen und Ammoniak in kritischen Lithografiesystemen Quantifizierung der Effizienz chemischer Filter Verfolgung und Fehlersuche von molekularen Kontaminationsquellen in der Luft im gesamten Reinraum und in Prozesswerkzeugen