IMS-Spektrometer AMC AirSentry® II

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Der AirSentry II-Mehrpunkt AMC-Reinraummonitor ist das fortschrittlichste verfügbare luftgestützte molekulare Kontaminationssystem (AMC), das mithilfe der empfindlichen und reaktionsschnellen Ionenmobilitätsspektrometrie molekulare Luftkontamination an mehreren Stellen in einem Reinraum erkennt und charakterisiert. Diese Lösung von Particle Measuring Systems verfügt über ein 16- oder 30-Punkt-Verteiler-Probenahmesystem und einen Bordcomputer mit sicherer Software und Kommunikation. In modernen Reinraumfertigungsbereichen sind Prozesswerkzeuge häufig auf große Reinraumbereiche und mehrere Stockwerke verteilt. Luftbehandlungsgeräte zirkulieren den größten Teil der Luft in einem Reinraum, wodurch sich die molekulare Kontamination in der Luft leicht auf unerwünschte Bereiche ausbreiten kann, was sich negativ auf die Prozessschritte auswirkt, die sich außerhalb der tatsächlichen Kontaminationsquellen befinden. Das AirSentry II AMC-Überwachungssystem bietet eine zentrale und kostengünstige Überwachungsstation, die eine schnelle Kontaminationserkennung ermöglicht, sowie Überwachungssequenzen, um eine große Anzahl von Probenpunkten abzudecken, die über eine Einrichtung verteilt sind. Ein kritischer Teil eines strategischen Programms zur Überwachung molekularer Kontaminationen in der Luft. Überwachung von bis zu 30 Probenahmestandorten Ausstattung mit AirSentry II IMS-Sensoren für Ionen-Mobilitäts-Spektrometrie – hochempfindlich, zuverlässig, reproduzierbar Nachweis von Säuren, Aminen, Ammoniak und Chloriden in niedrigen Konzentrationen Auf NIST (National Institute of Standards and Technology) rückführbare Kalibrierungen Software mit Echtzeit-Grafikanzeige