Konfokaler Sensor / mit chromatischer Kodierung confocalDT IFS2407

zur Dickemessungzur Abstandsmessungkontaktlos

Produktbeschreibung
Die konfokal-chromatischen Sensoren confocalDT IFS2407 sind konzipiert zur hochpräzisen Messung von Abstand, Rauheit und Dicke. Die Sensoren bieten eine hohe Numerische Apertur, kleine Lichtfleckdurchmesser und hohe Messwinkel, wodurch die Sensoren auch zur Rauheitsmessung eingesetzt werden können. Darüber hinaus überzeugen die Sensoren durch Nanometergenauigkeit.

Hochtemperatur-Sensoren: confocalDT IFS2407-xHT

• Zuverlässige Messung bei Umgebungstemperaturen bis zu 200 °C
• Messbereiche (mm): 0,8 | 2 | 4
• Temperaturbereich: max. 200 °C
• Linearität: max. < ±0,18 µm
• Auflösung: max. < 6 nm
• Gehäuse aus Edelstahl 1.4404
• Vakuumtauglich bis UHV
• 90° Varianten verfügbar

confocalDT IFS2407-0,1

• Messbereich (mm): 0,1
• Linearität: max. 0,05 µm
• Auflösung: max. 3 nm
• Ideal für Abstands- und Rauheitsmessungen
• Lichtstärkere Ausführung für schnelle Prozesse erhältlich (NA 0,7)
• Kleiner Messfleck 3 µm
• Hohe Empfindlichkeit und großer Messwinkel
• Dickenmessung von transparenten Objekten ab 5 µm

confocalDT IFS2407-0,8

• Messbereich (mm): 0,8
• Linearität: max. ±0,2 µm
• Auflösung: max. 24 nm
• Kleiner Lichtpunkt
• Platzsparende Sensorbauform
• Präzise Abstandsmessung auch auf gekrümmten Oberflächen
• Ideal zur Dickenmessung von dünnen Schichten

confocalDT IFS2407-1,5

• Messbereich (mm): 1,5
• Sehr kleiner Messfleck von 5,5 µm
• Messwinkel > ±43°
• Lichtstarke Ausführung (NA > 0,7)
• Hochpräzise Messung auf gekrümmten und spiegelnden Flächen
• Stabile Messung auf strukturierter Oberfläche

confocalDT IFS2407-3

• Messbereich (mm): 3
• Linearität: max. 0,5 µm
• Auflösung: max. 13 nm
• Großer Grundabstand ca. 28 mm
• Max. Messwinkel ±30°
• Ideal für Messungen auf gekrümmten und spiegelnden Flächen

confocalDT IFS2407-6

• Messbereich (mm): 6
• Linearität: max. 1 µm
• Auflösung: max. 15 nm
• Großer Grundabstand ca. 32 mm
• Ideal für schnelle, hochpräzise Messungen auf anspruchsvolle Oberflächen
• Hohe Lichtintensität auch bei dunklen/schwach reflektierenden Oberflächen

confocalDT IFS2407/90-0,3

• Messbereich (mm): 0,3
• Linearität: max. 0,15 µm
• Auflösung: max. 6 nm
• Ideal für Weg- und Rauheitsmessungen
• Kleiner Messfleck 6 µm
• Hohe Empfindlichkeit und großer Messwinkel
• 90° Strahlengang, ideal zur Montage in beengten Bauräumen

Charakteristika / Spezifikationen (zusammengefasst)

• Serie / Modell: confocalDT IFS2407 (mehrere Ausführungen: -0,1; -0,8; -1,5; -3; -6; /90-0,3; xHT für Hochtemperatur)
• Messbereiche verfügbar: 0,1 mm | 0,3 mm | 0,8 mm | 1,5 mm | 3 mm | 6 mm (je nach Variante) und spezielle Hochtemperatur-Messbereiche 0,8 | 2 | 4 mm
• Linearität (variiert je Modell): typ. von < 0,05 µm bis max. 1 µm
• Auflösung (variiert je Modell): bis zu 3 nm (beste Variante), typische Werte bis 24 nm
• Messfleckgrößen: z. B. 3 µm (IFS2407-0,1), 5,5 µm (IFS2407-1,5), 6 µm (IFS2407/90-0,3)
• Numerische Apertur (NA) / Lichtstärke: Varianten mit hoher NA (z. B. NA 0,7) für lichtstarke Ausführungen
• Messwinkel: große Messwinkel (z. B. > ±43° bei bestimmten Varianten; max. ±30° bei anderen)
• Grundabstand: z. B. ca. 28 mm (IFS2407-3), ca. 32 mm (IFS2407-6)
• Material / Gehäuse: Edelstahl (z. B. 1.4404) bei Hochtemperatur-/Vakuum-Varianten
• Besondere Eigenschaften: geeignet für Abstand-, Rauheits- und Dickenmessung; robuste Messung auf gekrümmten, spiegelnden und strukturierten Oberflächen; Varianten für Hochtemperatur (bis 200 °C) und vakuumtaugliche Ausführungen (bis UHV)