Konfokaler Sensor / mit chromatischer Kodierung confocalDT IFS2407-xHT/VAC

zur Dickemessungzur Abstandsmessungkontaktlos

Produktübersicht
Die Serie confocalDT IFS2407 umfasst konfokal-chromatische Hochtemperatur-Sensoren für berührungslose Weg- und Abstandsmessungen in anspruchsvollen Umgebungen. Die HT/VAC-Ausführungen messen zuverlässig bis 200 °C, kombinieren kompakte Optik mit niedrigem Ausgasungsverhalten und sind somit UHV‑kompatibel. Verschiedene Messbereiche und Ausführungen mit 90°-Strahlengang ermöglichen den Einbau auch bei beengten Platzverhältnissen.

Highlights

• Zuverlässiger Betrieb bei Umgebungstemperaturen bis 200 °C
• Niedriges Ausgasungsverhalten: geeignet für UHV- und Reinraumanwendungen
• Kompakte konfokal-chromatische Bauform für begrenzten Einbauraum
• Verfügbar in mehreren Messbereichen und mit 90°-Strahlengang
• Gehäusematerial: Edelstahl 1.4404

Modelvarianten und Hauptspezifikationen

• confocalDT IFS2407-0,8HT/VAC
  • Messbereich (mm): 0,8
  • Linearität: max. < ±0,18 µm
  • Auflösung: max. < 6 nm
  • Geringes Ausgasungsverhalten: geeignet für UHV- und Reinraumanwendungen
  • Temperaturbeständig bis 200 °C
  • Gehäuse: Edelstahl 1.4404
• confocalDT IFS2407-2HT/VAC
  • Messbereich (mm): 2
  • Linearität: max. < ±0,44 µm
  • Auflösung: max. < 10 nm
  • Geringes Ausgasungsverhalten: geeignet für UHV- und Reinraumanwendungen
  • Temperaturbeständig bis 200 °C
  • Gehäuse: Edelstahl 1.4404
  • Modelle mit 90°-Strahlengang verfügbar
• confocalDT IFS2407-4HT/VAC
  • Messbereich (mm): 4
  • Linearität: max. < ±0,8 µm
  • Auflösung: max. < 24 nm
  • Geringes Ausgasungsverhalten: geeignet für UHV- und Reinraumanwendungen
  • Temperaturbeständig bis 200 °C
  • Gehäuse: Edelstahl 1.4404
  • Modelle mit 90°-Strahlengang verfügbar

Anwendungsbereiche

• Präzisionsmaschinenbau
• Halbleiterindustrie
• Anwendungen in UHV- und Reinraumumgebungen

Charakteristiken / Technische Spezifikationen

• Serie / Modellfamilie: confocalDT IFS2407
• Verfügbare Messbereiche: 0,8 mm / 2 mm / 4 mm
• Maximale Linearität (modellabhängig): < ±0,18 µm (0,8 mm) — < ±0,44 µm (2 mm) — < ±0,8 µm (4 mm)
• Maximale Auflösung (modellabhängig): < 6 nm (0,8 mm) — < 10 nm (2 mm) — < 24 nm (4 mm)
• Betriebstemperatur: bis 200 °C
• Vakuumeignung / niedriges Ausgasen: geeignet bis UHV
• Gehäusematerial: Edelstahl 1.4404
• Varianten: Ausführungen gerade und mit 90°-Strahlengang verfügbar