Thermodurchflussmesser FF-109 FLEXI-FLOW

Massenfür Gasfür Flüssigkeiten

Kurzübersicht

• 8 vorinstallierte Gase, 22 Gase verfügbar über Bronkhorst FlowSuite
• Durchfluss- und Temperaturmessung
• Kompaktes Design
• Bis zu 16 bar(g)
• Bluetooth- und USB-C-Verbindung mit kostenloser Software Bronkhorst FlowSuite
• Schnelle Reaktion dank TCS-Technologie

Vorinstallierte Gase
Gase | Max. Bereich
N₂, Luft, H₂ | 50 ln/min
O₂ | 45 ln/min
Ar, CH₄ | 40 ln/min
He | 70 ln/min
CO₂ | 35 ln/min

Mit Bronkhorst FlowSuite können Sie eines der 22 verfügbaren Gase hinzufügen oder eigene Mischungen auf dem Instrument erstellen. So erhalten Sie ein Multi-Fluid-Instrument für Ihre Anwendungen: C₂H₂, Luft, C₃H₄ #1, Ar, CO₂, CO, C₃H₆ #1, D₂ #1, C₂H₆, C₂H₄, He, H₂, Kr, CH₄, Ne, N₂, N₂O, O₂, C₃F₈, C₃H₆ #2, C₃H₈, C₃H₄ #2.
Das Instrument kann einfach über Bluetooth mit dem Smartphone oder über geeignete Kabel mit dem PC verbunden werden.

Eigenschaften von FF-109 FLEXI-FLOW 50 ln/min

• Mehrparameter-Ausgabe: Tatsächlicher Massendurchfluss und Temperatur (Instrument)
• Geeignet für nahezu jede Art von Gas oder Gasgemisch
• Einfache und sichere Verbindung über Bluetooth oder USB-C
• Erweiterte Diagnosefunktionen
• Hohe Genauigkeit durch integrierte Gasdatenbank und Echtzeit-Konvertierung
• Einfache Konfiguration
• MTBF 145 Jahre
• Einzigartige TCS-Technologie (Through Chip Sensor)
• Schnelle Reaktion <30 ms
• Kompaktes Design
• Namur NE107 Statusanzeige

Technische Spezifikationen
Mess- / Regelungssystem
Durchflussbereich: 1...50 ln/min
Genauigkeit: ±1.5% Rd plus ±0.5% FS (bei Kalibrierbedingungen)
Wiederholbarkeit: < ± 0,2% Rd
Turndown-Bereich: 1:50
Druckstufe (PN): 16 bar(g) (232 psi(g))
Temperaturbereich: 0 … 50 °C (32°F … 122°F)
Betriebsdruck: 0,8 … 17 bar(a)
Vorinstallierte Gase: Air, N₂, O₂, H₂, Ar, He, CH₄, CO₂ (eingebettete Gasdaten für 22 einzigartige Gase plus beliebige Mischung dieser Gase)
Standardkalibrierungsgas: N₂
Reaktionszeit (Sensor): <30 ms
Temperatur-Empfindlichkeit: Flow sensor: zero 0.015% FS/ºC; span 0.05% Rd/ºC
Leckagedichtheit, nach außen: Typisch < 2 x 10⁻⁹ mbar l/s He
Lageempfindlichkeit: Montage in jeder Position, Haltungsempfindlichkeit vernachlässigbar

Mechanische Teile
Medienberührte Teile: Aluminium, Edelstahl, Siliziumnitrid, Epoxid, Aluminiumoxid, Glas
Prüfdruck: 25 bar(g)
Prozessanschlüsse: G1/2”BSSP ISO 1179 Kavitäten
Dichtungsmaterial: FKM 51415
Gewicht: 250 Gramm
Schutz gegen Eindringen: IP40

Elektrische Eigenschaften
Versorgungsspannung: +24 VDC ± 10%
Stromverbrauch: 0.5 Watt
Digitale Kommunikation: Modbus-RTU / FLOW-BUS
Elektrischer Anschluss: 9-pol D-sub male

Anwendungen

• Reaktives Sputtern
  • Schnelle Nachführung von Sollwerten zur Kontrolle der Schichtdicke und Transparenz
  • Großer Dynamikbereich für Flexibilität innerhalb der Anwendung
• Analytische Geräte
  • Spurenelementanalyse, Gaschromatographie, ICP-Spektroskopie, OES-Spektroskopie, Massenspektrometrie
  • Hervorragende Wiederholbarkeit und Langzeitstabilität
  • Analytische Qualität; geringe Ausgasung. Schnelle Durchflussregelung, auch bei sehr niedrigen Durchflussraten.
• Brennstoffzelle
  • Sehr präzise und wiederholbar sowohl kurz- als auch langfristig für H₂-, Luft-, O₂- und CO₂-Durchflussmessung und -regelung
  • Schnelle Reaktion für genaue Durchflussmessung und -regelung zu jeder Zeit
  • Großer Dynamikbereich für genaue Durchflussmessung und -regelung über einen weiten Bereich
  • Kompakt für platzbeschränkte mobile Anwendungen

Charakteristika / Spezifikationen (Liste)

• Modell: FF-109 FLEXI-FLOW 50 ln/min
• Marke: Bronkhorst
• Durchflussbereich: 1...50 ln/min
• Genauigkeit: ±1.5% Rd plus ±0.5% FS
• Wiederholbarkeit: < ± 0,2% Rd
• Druckstufe: 16 bar(g)
• Temperaturbereich: 0 … 50 °C
• Betriebsdruck: 0,8 … 17 bar(a)
• Vorinstallierte Gase: Air, N₂, O₂, H₂, Ar, He, CH₄, CO₂
• Standardkalibrierungsgas: N₂
• Reaktionszeit: <30 ms
• Gewicht: 250 g
• Schutzart: IP40
• Versorgungsspannung: +24 VDC ± 10%
• Stromverbrauch: 0.5 W
• Digitale Kommunikation: Modbus-RTU / FLOW-BUS
• Elektrischer Anschluss: 9-pol D-sub male