Massendurchflussmesser FF-101 FLEXI-FLOW

Thermofür Gasfür Flüssigkeiten

Kurzübersicht

• 8 vorinstallierte Gase, 22 Gase verfügbar über Bronkhorst FlowSuite
• Durchfluss- und Temperaturmessung
• Kompaktes Design
• Bis zu 16 bar(g)
• Bluetooth- und USB-C-Verbindung mit kostenloser Software Bronkhorst FlowSuite
• Schnelle Reaktion dank TCS-Technologie

Vorinstallierte Gase und Bereiche
Gase | Max. Bereich
N₂, Luft, H₂ | 5 mln/min
O₂ | 4,5 mln/min
Ar, CH₄ | 4 mln/min
He | 7 mln/min
CO₂ | 3,5 mln/min

Weitere Gase (über FlowSuite)
Bronkhorst FlowSuite ermöglicht das Hinzufügen von 22 verfügbaren Gasen oder eigenen Mischungen:
C₂H₂, Luft, C₃H₄ #1, Ar, CO₂, CO, C₃H₆ #1, D₂ #1, C₂H₆, C₂H₄, He, H₂, Kr, CH₄, Ne, N₂, N₂O, O₂, C₃F₈, C₃H₆ #2, C₃H₈, C₃H₄ #2

Verbindung & Bedienung

• Bluetooth-Verbindung mit Smartphone und App
• Alternativ Verbindung über USB-C mit PC möglich

Eigenschaften

• Mehrparameter-Ausgabe: Tatsächlicher Massendurchfluss und Temperatur
• Geeignet für nahezu jede Art von Gas oder Gasgemisch
• Einfache und sichere Verbindung über Bluetooth oder USB-C
• Erweiterte Diagnosefunktionen
• Hohe Genauigkeit durch integrierte Gasdatenbank und Echtzeit-Konvertierung
• Einfache Konfiguration
• MTBF 145 Jahre
• Einzigartige TCS-Technologie (Through Chip Sensor)
• Schnelle Reaktion <30 ms
• Kompaktes Design
• Namur NE107 Statusanzeige

Technische Spezifikationen
Mess- / Regelungssystem
Durchflussbereich | 0.1...5 mln/min
Genauigkeit | ±1.5% Rd plus ±0.5% FS (bei Kalibrierbedingungen)
Wiederholbarkeit | < ± 0,2% Rd
Turndown-Bereich | 1:50
Druckstufe (PN) | 16 bar(g) (232 psi(g))
Temperaturbereich | 0 … 50 °C (32°F … 122°F)
Betriebsdruck | 0,8 … 17 bar(a)
Vorinstallierte Gase | Air, N2, O2, H2, Ar, He, CH4, CO2
Gasdatenbank | 22 einzelne Gase sowie jede Mischung dieser Gase
Standardkalibrierungsgas | N2
Reaktionszeit (Sensor) | <30 ms
Temperatur-Empfindlichkeit | Durchflusssensor: Null 0,015 % FS/ºC; Spanne 0,05 % Rd/ºC
Leckagedichtheit, nach außen | Typisch < 2 x 10⁻⁹ mbar l/s He
Lageempfindlichkeit | Montage in beliebiger Position, Lageempfindlichkeit vernachlässigbar

Mechanische Teile
Medienberührte Teile | Aluminium, Edelstahl, Siliziumnitrid, Epoxid, Aluminiumoxid, Glas
Prüfdruck | 25 bar(g)
Prozessanschlüsse | G1/8”BSSP ISO 1179 cavities
Dichtungsmaterial | FKM 51415
Gewicht | 250 Gramm
Schutz gegen Eindringen | IP40

Elektrische Eigenschaften
Versorgungsspannung | +24 VDc ± 10%
Stromverbrauch | 0.5 Watt
Digitale Kommunikation | Modbus-RTU / FLOW-BUS
Elektrischer Anschluss | 9-poliger D-Sub Stecker

Anwendungen

• Reaktives Sputtern
  • Schnelle Nachführung von Sollwerten zur Kontrolle der Schichtdicke und Transparenz
  • Großer Dynamikbereich für Flexibilität innerhalb der Anwendung
• Analytische Geräte
  • Spurenelementanalyse, Gaschromatographie, ICP-Spektroskopie, OES-Spektroskopie, Massenspektrometrie
  • Hervorragende Wiederholbarkeit und Langzeitstabilität
  • Analytische Qualität; geringe Ausgasung. Schnelle Durchflussregelung, auch bei sehr niedrigen Durchflussraten.
• Brennstoffzelle
  • Sehr präzise und wiederholbar sowohl kurz- als auch langfristig für H₂-, Luft-, O₂- und CO₂-Durchflussmessung und -regelung
  • Schnelle Reaktion für genaue Durchflussmessung und -regelung zu jeder Zeit
  • Großer Dynamikbereich für genaue Durchflussmessung und -regelung über einen weiten Bereich
  • Kompakt für platzbeschränkte mobile Anwendungen

Charakteristika / Spezifikationen

• Modell: FF-101 FLEXI-FLOW 5 mln/min
• Marke: Bronkhorst
• Durchflussbereich: 0.1...5 mln/min
• Genauigkeit: ±1.5% Rd plus ±0.5% FS
• Wiederholbarkeit: < ± 0,2% Rd
• Druckstufe: 16 bar(g)
• Temperaturbereich: 0 … 50 °C
• Betriebsdruck: 0,8 … 17 bar(a)
• Reaktionszeit: <30 ms
• Gewicht: 250 Gramm
• Schutzart: IP40
• Versorgungsspannung: +24 VDc ± 10%
• Stromverbrauch: 0.5 Watt
• Digitale Kommunikation: Modbus-RTU / FLOW-BUS
• Elektrischer Anschluss: 9-poliger D-Sub Stecker