XRD-Diffraktometer Wafer XRD 300

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Ihre integrierbare Lösung für die Waferorientierung Die Leistungsfähigkeit Ihrer Fabrikautomation trifft auf unsere Röntgenbeugungstechnologie der nächsten Generation. Wafer XRD 300 ist ein ultraschnelles, hochpräzises Messmodul für die Kristallorientierung und Wafergeometriekontrolle. Lernen Sie das Wafer XRD 300 kennen: Ihr Hochgeschwindigkeits-Röntgenbeugungsmodul für die 300-mm-Waferproduktion, das Schlüsseldaten zu einer Vielzahl wichtiger Parameter wie Kristallorientierung und geometrische Merkmale wie Kerben, Abflachungen und vieles mehr liefert - entwickelt, um sich nahtlos in Ihre Prozesslinie einzufügen. Merkmale und Vorteile Ultraschnelle Präzision mit unserer firmeneigenen Scan-Technologie Die verwendete Methode erfordert nur einen Rotationsscan, um alle erforderlichen Daten zur vollständigen Bestimmung der Kristallorientierung zu erfassen. Dies ermöglicht eine hohe Präzision bei einer sehr geringen Messzeit - im Bereich von wenigen Sekunden. Vollständig automatisierte Handhabung und Sortierung Das Wafer XRD 300 wurde entwickelt, um Ihren Durchsatz und Ihre Produktivität zu maximieren. Die vollständige Integration in Ihre Handhabungs- und Sortierautomatisierung macht es zu einer leistungsstarken und effizienten Ergänzung Ihres Prozesses. Vollständig automatisierte Handhabung und Sortierung Einfache Konnektivität Die leistungsstarke Automatisierung des Wafer XRD 300 lässt sich problemlos in Ihren neuen oder bestehenden Prozess integrieren, da er sowohl mit MES- als auch mit SECS/GEM-Schnittstellen kompatibel ist. Hohe Präzision, tiefere Einblicke Mit den wichtigsten Messungen des Wafer XRD 300 können Sie Ihre Materialien besser verstehen als je zuvor: Kristallorientierung Kerbenposition, -tiefe und -öffnungswinkel Durchmesser Flachposition und Länge Weitere Sensoren sind auf Anfrage erhältlich