Schnell, präzise und komplett ausgestattet: unsere Lösung für die Wafer-Endkontrolle
Wafer XRD 200 ist ein ultraschnelles, hochpräzises, automatisiertes System für die Sortierung von Wafern auf der Grundlage von Kristallorientierung und Wafergeometrieparametern mit einer Vielzahl von Zusatzoptionen
Wafer XRD 200 ist Ihre vollautomatische Hochgeschwindigkeits-Röntgenbeugungsplattform für Waferproduktion und Forschung, wie Sie sie noch nie gesehen haben.
Wafer XRD 200 liefert Schlüsseldaten zu einer Vielzahl wichtiger Parameter wie Kristallorientierung und spezifischer Widerstand, geometrische Merkmale wie Kerben und Abflachungen, Abstandsmessungen und vieles mehr - und das alles innerhalb weniger Sekunden. Entwickelt, um sich nahtlos in Ihre Prozesslinie einzufügen.
Merkmale und Vorteile
Ultraschnelle Präzision mit firmeneigener Scan-Technologie
Die Methode erfordert nur eine Waferdrehung, um alle erforderlichen Daten zur vollständigen Bestimmung der Orientierung zu erfassen. Dies ermöglicht eine hohe Präzision bei einer sehr geringen Messzeit - im Bereich von wenigen Sekunden.
Vollständig automatisierte Handhabung und Sortierung
Der Wafer XRD 200 wurde entwickelt, um Ihren Durchsatz und Ihre Produktivität zu optimieren. Die vollständige Automatisierung der Handhabung und Sortierung sowie detaillierte Datenübertragungswerkzeuge machen es zu einem leistungsstarken und effizienten Element in Ihrem QC-Prozess.
Einfache Konnektivität
Die leistungsstarke Automatisierung des Wafer XRD 200 ist sowohl mit MES- als auch mit SECS/GEM-Schnittstellen kompatibel. Es fügt sich problemlos in Ihren neuen oder bestehenden Prozess ein.
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