Konzentrations-Messinstrument CS-900F

Halbleiterkontaktlosfür Lichtleiter

Produktübersicht
Berührungsfreie, stabile Konzentrationsmessung für Chemikalien in Halbleiterprozessen. Der CS-900F verwendet eine berührungsfreie Faseroptik-Zelle, die an der Rohrleitung montiert wird, wodurch Leckage- und Kontaminationsrisiken minimiert werden. Er deckt eine erweiterte Palette von Nassprozess-Chemikalien ab und ermöglicht die direkte Messung von Lösungen bis 80 °C ohne Vorbehandlung, was die Betriebsstabilität und Vielseitigkeit als Flaggschiff der CS-Serie erhöht.

Hauptmerkmale

• Kompaktes Design mit stabiler Messleistung: Faseroptikkabel reduzieren das Volumen der in der Anlage installierten Zelle um ca. 60 % gegenüber früheren Modellen und verringern die Empfindlichkeit gegenüber externen Störungen.
• Erweiterte Chemikalienkompatibilität: Wellenlängenbereich etwa dreimal größer als bei Vorgängermodellen, ermöglicht die Messung einer größeren Vielfalt von Prozesschemikalien; Direktmessung bis 80 °C für sichereren Betrieb.
• Sicherheit und Prozessoptimierung: Zelle wird an der Rohrleitung montiert für berührungsfreie Messung, reduziert Leckage- und Kontaminationsrisiken und hilft, den Chemikalienverbrauch zu minimieren.
• Schnittstellen und Funktionen: 24 V DC Versorgung, Übertragungsausgang, Schaltausgang, RS-232C Kommunikation; unterstützt Mehrkomponentenmessung und temperaturkompensierte multivariate Analyse.

Spezifikationen
Produktname: Faseroptischer Typ, berührungsfreier Chemiekonzentrationsmonitor
Modell: CS-900F
Messprinzip: Absorptionsspektroskopie
Berechnungsverfahren: Temperaturkompensierte multivariate Analyse

Messbereich und Reproduzierbarkeit (Massen%)

• Modell: CS-900F-1-1-1P-1P25P5-AA
  Komponente: NH3 — Bereich: 0.00 bis 1.20 — Reproduzierbarkeit: ±0.05 — Analogausgangsbereich: 0.00 bis 10.00
  Komponente: H2O2 — Bereich: 0.00 bis 5.50 — Reproduzierbarkeit: ±0.10 — Analogausgangsbereich: 0.00 bis 10.00
  Komponente: H2O — Bereich: 93.3 bis 100.0 — Reproduzierbarkeit: ±1.0 — Analogausgangsbereich: —
• Modell: CS-900F-1-1-1P-P8P8-11
  Komponente: NH3 — Bereich: 0.00 bis 0.80 — Reproduzierbarkeit: ±0.03 — Analogausgangsbereich: 0.00 bis 1.00
  Komponente: H2O2 — Bereich: 0.00 bis 0.80 — Reproduzierbarkeit: ±0.03 — Analogausgangsbereich: 0.00 bis 1.00
  Komponente: H2O — Bereich: 98.4 bis 100.0 — Reproduzierbarkeit: ±0.2 — Analogausgangsbereich: —

Messbedingungen
Messintervall: ca. 5 s
Gleitender Durchschnitt: 16 Werte

Rohrleitung und Installation
PFA-Rohr: 1 inch oder 3/4 inch (schwarzen antistatischen Bereich vermeiden). Rohroberfläche muss frei von Kratzern, Dellen und Trübungen sein. Zelle an der Rohrleitung montieren; Installationsneigung der Haupteinheit innerhalb ±1° einhalten.

Probenbedingungen
Probentemperatur: 20 bis 80 °C
Temperaturschwankung Umgebung/Probe: ±1 °C über 1 Stunde
Probendruck: < 0,4 MPa (G); Druckschwankung innerhalb 0,02 MPa. Luftblasen im Probenfluss vermeiden; wenn Messdruck von dem für die Hintergrundkorrektur genutzten Druck abweicht, Nulpunktkorrektur durchführen.

Stromversorgung und Abmessungen
Stromversorgung: 24 V DC
Leistungsaufnahme: ca. 40 W (ohne Anlaufspitzen)
Gewicht: Haupteinheit ca. 5,8 kg; Zelle ca. 1,4 kg
Abmessungen: Haupteinheit 217 (B) × 290 (T) × 173 (H) mm (ohne Vorsprünge); Zelle 186 (B) × 142 (T) × 83 (H) mm (ohne Vorsprünge)
Erwartete Lebensdauer der Lichtquelle: 5 Jahre
Faseroptikkabel: Standardlänge 5 m; Biegeradius R150 mm