Konzentrations-Überwachungssystem CS-700

Messchemischspektroskopisch

Der chemische Konzentrationsmonitor CS-700 von HORIBA ermöglicht die hochleistungsfähige Messung der einzelnen chemischen Bestandteile komplexer chemischer Stoffe, die in den modernsten Halbleiterherstellungsprozessen verwendet werden. Durch die Verbesserung der renommierten spektroskopischen Messtechnik von HORIBA erzielt der CS-700 eine bis zu 5-fache Verbesserung der Messleistung. Es bietet eine verbesserte Qualitätskontrolle, die die Halbleiterfertigungsprozesse verbessert. Geeignet für die Kontrolle einzelner Bestandteile kommerzieller Chemikalien. Überwachung von maximal 8 Komponenten in Echtzeit und mit hoher Leistung Keine Reagenzien erforderlich und kein Probenverbrauch für reduzierte CoO (Cost of Ownership) Einfache Plug-and-Play-Installation