Ausstoß-Überwachungsgerät ohne Kontakt
IR-400

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Ausstoß-Überwachungsgerät ohne Kontakt Ausstoß-Überwachungsgerät ohne Kontakt - IR-400
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Beschreibung

Hochwertiger Gaswächter für die Kammerreinigung Endpunktüberwachung
Der IR-400 bietet eine Echtzeitüberwachung des Endpunktes der Kammerreinigung während des Abscheidungsprozesses. Durch die Optimierung des Reinigungsprozesses reduziert der IR-400 die Reinigungszeit und den Gasverbrauch. Diese Reduzierung des Reinigungsgasverbrauchs führt zu einer Reduzierung der Kammerbeschädigung und erhöht die Lebensdauer aller Systemkomponenten.
Mehrgasüberwachung (Unterstützt SiF4 undCF4) (IR-422)
Hohe Empfindlichkeit
Heizfunktion der Gaszelle bis 180 dec.C
Multi-Display
Analoge/Digitale Kommunikation.
Vorteile der Echtzeit-Endpunktüberwachung mit dem IR-400
Verkürzung der Zeit für die Kammerreinigung
Reduzierung des Einsatzes von Reinigungsgasen
Wiederholbarer und vorhersehbarer Reinigungsprozess
Längere Lebensdauer der Kammerbauteile

Dies ist eine automatische Übersetzung.  (Sehen Sie hier den englischen Originaltext.)