Ausstoß-Überwachungsgerät ohne Kontakt IR-400

Hochwertiger Gasmonitor für die Endpunktüberwachung der Kammerreinigung Der IR-400 bietet eine Echtzeit-Überwachung des Endpunkts der Kammerreinigung während des Abscheidungsprozesses. Durch die Optimierung des Reinigungsprozesses reduziert der IR-400 die Reinigungszeit und den Gasverbrauch. Diese Reduzierung des Reinigungsgasverbrauchs führt zu einer Verringerung der Kammerschäden und erhöht die Lebensdauer aller Systemkomponenten. Multigasüberwachung (unterstützt SiF4 undCF4) (IR-422) Hohe Empfindlichkeit Heizfunktion der Gaszelle bis zu 180 dec.C Mehrfache Anzeige Analog/Digital-Kommunikation. Vorteile der Echtzeit-Endpunktüberwachung mit dem IR-400 Reduzieren Sie die Zeit für die Kammerreinigung Geringerer Verbrauch von Reinigungsgasen Wiederholbarer und vorhersehbarer Reinigungsprozess Längere Lebensdauer der Kammerkomponenten