Gasverdampfer / Verdampfungskonzentration
IR-300

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Gasverdampfer / Verdampfungskonzentration Gasverdampfer / Verdampfungskonzentration - IR-300
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Eigenschaften

  • Anwendung:

    Gas

  • Weitere Eigenschaften:

    Verdampfungskonzentration

Beschreibung

Der metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) Prozess wird häufig bei der Herstellung von LEDs, optischen Geräten und anderen Komponenten eingesetzt. Flüssige und feste Vorläufer werden der Reaktionskammer zugeführt, indem Temperatur, Druck und Trägergasdurchsatz gesteuert werden (Blasverfahren). Die Inline-Reihe IR-300 misst und berichtet die Vorläufer-Konzentration in Echtzeit und bietet dem Anwender folgende Vorteile:

Optimierung der Prozesssteuerung zur Herstellung hochwertiger Geräte
Verbesserung der Geräteausbeute und Reduzierung von Ausschuss
Verbesserung der Reproduzierbarkeit
Wissen, wann ein Bubbler ausgetauscht werden muss
MTTA erweitern
Reduzierung ungeplanter Eingriffe
Reduzierung wertvoller Vorläuferabfälle
Echtzeit-Überwachung
Schnelle Reaktion und ausgezeichnete Wiederholgenauigkeit ermöglichen die Echtzeitverfolgung von Änderungen der Dampfkonzentration
Funktion der Multikalibrierkurve (optional)
Ermöglicht die Konzentrationsmessung von bis zu 3 Chemikalien oder Bereichen
Multidisplay-Funktion
Die Multi-Display-Funktion auf der Oberseite des IR-300 gibt dem Benutzer die Möglichkeit, vor Ort die Konzentration zu überwachen und den Status der Vorläuferzuleitung zu überprüfen
Kommunikationsfunktion
Konnektivität über DeviceNet™, RS485 und analoge Kommunikation
Einfaches, kompaktes Design
Mit einer Baugröße von 124 mm ermöglicht das kompakte und montagefreundliche Design des Gerätes eine einfache Integration

Dies ist eine automatische Übersetzung.  (Sehen Sie hier den englischen Originaltext.)