Ausstoß-Überwachungsgerät ohne Kontakt / zur Inspektion von Halbleitern D-ReX PoS²

für industrielle Nutzungzur Prozessüberwachungfür Detektion

Overview
Der D-ReX PoS² ist ein kompaktes Gasdetektionssystem für Halbleiterfertigungsumgebungen. Er integriert eine interne Pumpe, die Probengas am Point of Sampling (PoS) aus Entfernungen bis ~30 m fördert, und ist für Wand- oder DIN‑Schienenmontage ausgelegt. Anschlussoptionen umfassen Power over Ethernet (PoE), 4–20 mA und Modbus (RS-485).

USPs

• Werkzeuglose Wartung: Gerätefront lässt sich werkzeuglos öffnen für schnellen Zugriff auf Sensorkartusche und Pumpenmechanik.
• Fernprobenahme: Integrierte Pumpe mit Probenschlauch‑Fähigkeit für beengte Bereiche und verteilte Entnahmepunkte.
• Flexible Integration: PoE, 4–20 mA und Modbus (RS-485) für einfache Anbindung an übergeordnete Steuerungen.

Features

• Optionale Leitungsintegritätsüberwachung
• Großes 2,4" TFT‑Farbdisplay zur Anzeige von Gaskennung, Konzentration und Gerätestatus
• Drei interne einpolige Umschaltrelais, frei programmierbar
• Kommunikation: Ethernet (PoE), 4–20 mA, Modbus (RS-485)

Designed for semiconductor fabs
Das Gerät unterstützt Probenahme aus Rohrleitungen, Gasverteilungssystemen, Lagerbereichen, Wäschern und Reinräumen. Für pyrolysepflichtige Gase ist das optionale Py‑ReX‑Modul verfügbar. Sensorkartuschen sind vorkonfiguriert und austauschbar; Sensorkassette und Pumpenelektronik bleiben bei Austausch von Verschleißteilen erhalten.

Information & operation
Das 2,4" Display zeigt Gasidentität, gemessene Konzentration, Gerätestatus und Fehler im Klartext. Drei interne Relais können programmiert werden, um externe Alarme oder Sicherheitsmaßnahmen auszulösen. Vernetzter Betrieb ist über PoE‑fähiges LAN (10/100 Mbit/s) und Modbus (RS-485) möglich; analoge Ausgabe über 4–20 mA.

Detectable semiconductor process gases (typical)
Ammoniak (NH3), Chlorwasserstoff (HCl), Fluorwasserstoff (HF), Wasserstoff (H2), Silan (SiH4), Dichlorsilan (DCS), Arsin (AsH3), Phosphan (PH3), Diboran (B2H6), Selenwasserstoff (H2Se), German (GeH4), Chlortrifluorid (ClF3), Fluor (F2), Ozon (O3), Bromwasserstoff (HBr), Blausäure (HCN), Hexamethyldisilazan (HMDS), Tetraethylorthosilikat (TEOS).

Technical specifications

• Model: D-ReX PoS²
• Sampling: integrierte Pumpe mit Probenschlauch‑Fähigkeit (bis ~30 m)
• Installation: Wandmontage oder DIN‑Schiene
• Service: werkzeugloser Frontzugang; werkzeugloser Austausch von Sensorkartusche und Pumpenmechanik
• Unterstützte Sensoren: elektrochemisch, katalytisch, Infrarot, PID (vorkonfigurierte Sensorkartuschen)
• Display: 2,4" Farbe (TFT)
• Relais: drei interne frei programmierbare Relais (einpolige Umschaltkontakte)
• Analogausgang: 4–20 mA
• Digitale Kommunikation: Modbus (RS-485)
• Netzwerk / Strom: Power over Ethernet (PoE), Ethernet 10/100 Mbit/s
• Optional: Py‑ReX Pyrolysemodul; optionale Leitungsintegritätsüberwachung