Messgasaufbereitungssystem Py-ReX

Übersicht
Das Py-ReX Filament-Pyrolysemodul ist ein Zusatzmodul für den Gasdetektor D-ReX PoS und ermöglicht die extraktive Erkennung von Gasen, die zu giftig oder elektrochemisch inaktiv sind, um direkt gemessen zu werden. Das Modul nutzt die integrierte Pumpe des D-ReX PoS, um die Gasprobe durch einen erhitzten Filament in einem Quarzrohr zu ziehen und das Zielgas in eine messbare Spezies umzuwandeln, die vom elektrochemischen Smart-Sensor detektiert wird.

Gaserkennung mit einem Pyrolyseur
Das Py-ReX wird zwischen Entnahmepunkt und Gasdetektor montiert. Die Pumpe des D-ReX PoS führt die Probe durch den Pyrolyseur; das konvertierte (messbare) Gas wird anschließend dem D-ReX-Sensor zur Analyse zugeführt. Diese Konfiguration erweitert den detektierbaren Gasbereich des D-ReX PoS für Prozessüberwachung und Sicherheitsanwendungen.

Wie funktioniert Pyrolyse?
Ein Filament in einem Quarzglasrohr wird auf eine gas-spezifische Temperatur erhitzt. Beim Kontakt mit dem erhitzten Filament zersetzt sich das Zielgas (pyrolysiert) zu einer messbaren Spezies. Die Konzentration der gemessenen Spezies dient zur Berechnung der Konzentration des ursprünglichen Zielgases anhand der Kalibrierungsparameter.

Welche Gase können detektiert werden?
Das Py-ReX ist vorwiegend für fluorbasierte Inertisierungsgase optimiert, wie sie in der Halbleiterfertigung und verwandten Industrien verwendet werden. Es kann auch bestimmte inerte, nicht fluorbasierte Gase (z. B. 1,2-Dichloroethen) detektieren. Typische gemessene Spezies stammen aus C2H2Cl2, C4F6, C5F8, CH3F, NF3 und SF6.

In Kürze: Ausstattung und Merkmale

• Pyrolysemethode: Filament-Pyrolyse (Filament im Quarzrohr)
• Betrieb: Extraktive Probenahme mit der integrierten Pumpe des D-ReX PoS
• Kommunikation: 4-20 mA Ausgang
• Statusanzeige: 2-farbige Status-LEDs
• Montage: Gehäuse für DIN-Schiene (TS35)
• Maximale Probenleitungslänge: bis zu 30 m
• Überwachung des Heizstroms verfügbar auf dem D-ReX PoS
• Optional: Leitungskontinuitätsüberwachung über D-ReX PoS

Gemessene Gase (Beispiele)
C2H2Cl2 — 1,2-Dichlorethen (DCE); C4F6 — Hexafluorbutadien; C5F8 — Octafluorcyclopenten; CH3F — Methylfluorid; NF3 — Stickstofftrifluorid; SF6 — Schwefelhexafluorid

Technische Daten / Eigenschaften

• Entwickelt als Zusatzmodul für D-ReX PoS, Nutzung der integrierten Pumpe für extraktive Probenahme
• Filament-Pyrolyseur: erhitztes Filament im Quarzglasrohr mit gasespezifischer Temperaturregelung
• Zwischen Entnahmepunkt und Gasdetektor montiert
• Konvertiert Zielgas in messbares Gas; gemessene Konzentration dient der Berechnung der Zielkonzentration
• Kommunikationsausgang: 4-20 mA
• Visuelle Anzeigen: 2-farbige Status-LEDs
• Gehäuse: DIN-Schiene (TS35)
• Maximale Probenleitungslänge: bis zu 30 m
• Heizstromüberwachung über D-ReX PoS implementiert
• Optionale Leitungskontinuitätsüberwachung über D-ReX PoS verfügbar
• Anwendungsfokus: vorrangig fluorbasierte Inertisierungsgase in der Halbleiterfertigung; auch bestimmte nicht fluorierte inerte Gase