NDIR-Gassensor Gasboard-2061

zur Prozessmessungzur Überwachung der Reinigung von Halbleitergasenfür die Prozess-Steuerung

Übersicht
Der Gasboard-2061 ist ein NDIR WF6-Gassensor zur Echtzeitmessung der WF6-Konzentration und zur Endpunktdetektion (EPD) in Wolfram-CVD-(WCVD)-Beschichtungskammern. Der Sensor liefert empfindliche, reproduzierbare Messwerte unter Vakuum- und Prozessbedingungen und unterstützt so eine präzise Endpunkterkennung und eine reduzierte Reiniggasnutzung.

Design & Integration
Der kompakte, modulare Gasboard-2061 ist für eine einfache Installation in Vakuum-Prozesslinien ausgelegt. Die 316L-Konstruktion und der abgedichtete optische Aufbau machen ihn beständig gegen korrosive Prozessgase. Er unterstützt analoge und digitale I/O sowie RS485-Kommunikation für Kalibrierung, Datenlogging und Integration in Prozessleitsysteme.

Merkmale

• NDIR-Technologie, optimiert für WF6-Messungen.
• Schnelle Ansprechzeit zur Echtzeitverfolgung von Konzentrationsänderungen.
• Niedrige Nullpunktdrift und hohe Wiederholgenauigkeit für konsistente Messungen.
• Abgedichtetes Design geeignet für Vakuumumgebungen.
• 316L-korrosionsbeständige Konstruktion für den Einsatz in aggressiven Prozessbedingungen.
• Analoge Ausgänge (0–5 V oder 4–20 mA), analoger Eingang und digitale I/O für flexible Integration.

Spezifikationen (Tabelle)
Gemessene Komponente: WF6
Bereich: 0–200 mTorr
Wiederholbarkeit: ±0,5%
Genauigkeit: ±1% F.S.
Betriebsspannung: 24 VDC
Betriebsstrom: 1,5 A (max)
Analogausgang: 0–5 VDC (4 Kanäle) oder 4–20 mA (4 Kanäle)
Analogeingang: 0–10 VDC (1 Kanal)
Digitalausgang: 4 Kanäle
Digitaleingang: 1 Kanal
Kommunikation: RS485
Probenahmeanschluss: NW25
Leckrate: ≤1 x 10-6 Pa·m3/s (He)
Betriebstemperatur (Umgebung): 20–35 ℃

Hinweise zu Messbedingungen
1. Alle Daten wurden bei Normaldruck gemessen.
2. Kalibriergase werden von akkreditierten metrologischen Instituten bereitgestellt; Gase in trockenem N2 verdünnt (Reinheit ≥99,999%).
3. Die angegebenen Leistungswerte gelten nach Kalibrierung; jeder Sensor wird in der Produktion zu 100 % kalibriert.
4. Messungen erfolgen bei einer Umgebungstemperatur von 25 °C.

Technische Daten

• Modell: Gasboard-2061
• Gemessenes Gas: WF6
• Bereich: 0–200 mTorr
• Wiederholbarkeit: ±0,5%
• Genauigkeit: ±1% F.S.
• Stromversorgung: 24 VDC
• Max. Betriebsstrom: 1,5 A
• Analogausgänge: 0–5 VDC (4 Kanäle) oder 4–20 mA (4 Kanäle)
• Analogeingang: 0–10 VDC (1 Kanal)
• Digitalausgänge: 4 Kanäle; Digitaleingang: 1 Kanal
• Kommunikationsschnittstelle: RS485
• Probenahmeanschluss: NW25
• Leckrate (He): ≤1 x 10-6 Pa·m3/s
• Betriebstemperatur (Umgebung): 20–35 ℃
• Konstruktion: 316L korrosionsbeständige Materialien; abgedichtetes Design geeignet für Vakuumumgebungen