NDIR-Gassensor Gasboard-2060

Infrarotzur Prozessmessungzur Überwachung der Reinigung von Halbleitergasen

Produktübersicht
Das Gasboard-2060 ist ein NDIR-SiF4-Gassensor zur Echtzeit-Endpunktdetektion (EPD) bei der Reinigung von CVD-Halbleiterkammern. Der Sensor verfügt über eine speziell gestaltete Gaszelle und Optik zur selektiven Messung der SiF4-Konzentration und zur Regelung des Reinigungsprozesses. Gasboard-2060 liefert schnelle Messergebnisse und lässt sich über analoge sowie digitale Schnittstellen in Prozesssteuerungen integrieren.

Merkmale

• NDIR-Erkennung optimiert für SiF4.
• Schnelle Ansprechzeit (T90＜2s) zur genauen Bestimmung des Reinigungsendpunkts.
• Stabile Ausgangswerte mit geringer Nullpunktdrift und hoher Wiederholgenauigkeit.
• Modulares, kompaktes Design für einfache Installation und Wartung.
• Analoge (1–10VDC) und digitale (RS232) Ausgänge; Probennahmeanschluss KF16.

Spezifikationen
Messgas: SiF4
Messprinzip: NDIR (Nicht-dispersives Infrarot)
Messbereich: (0.0–0.2) Absorbance
Ansprechzeit: T90＜2s
Datenübertragungsrate: 0.5s
Analogausgang: 1–10VDC
Stromversorgung: 15VDC (≤300mA) oder 24VDC
Digitale Kommunikation: RS232
Probenahmeanschluss: KF16
Abmessungen: 200 × 120 × 75,5 mm
Leckrate: ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
Betriebstemperatur: 5～65 ℃

Technische Daten

• Messgas: SiF4
• Messprinzip: NDIR
• Messbereich: (0.0–0.2) Absorbance
• Ansprechzeit: T90＜2s
• Datenübertragungsrate: 0.5s
• Analogausgang: 1–10VDC
• Stromversorgung: 15VDC (≤300mA) oder 24VDC
• Digitale Kommunikation: RS232
• Probenahmeanschluss: KF16
• Abmessungen: 200×120×75,5 mm
• Leckrate: ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
• Betriebstemperatur: 5～65 ℃