Poliermaschine für Glas IBF series

für die FeinoptikIndustrieautomatisiert

Produktübersicht
Ion Beam Figuring (IBF) ist ein vakuumbasiertes Korrekturpolierverfahren, das beschleunigte Argonatome zur Materialabtragung nutzt und Oberflächenfehler bis in den Bereich weniger Nanometer mit submillimetrischer lokaler Auflösung korrigiert. Entwickelt für die Endbearbeitung von Präzisionsoptiken und komplexen Geometrien.

Hauptvorteile

• Poliert praktisch jede Form: Der 6-achsige Direktantrieb hält die Ionenquelle orthogonal zur Werkstückoberfläche und ermöglicht die Bearbeitung bis an und über den Rand.
• Oberflächenqualität λ/200 und besser: Korrigiert sehr kleine Fehler für eine Optik-Endbearbeitung mit hoher Oberflächenqualität.
• Vollautomatisch und hoch reproduzierbar: Iterativer, vollautomatisierter Workflow unterstützt mehrere Blenden ohne Zwischenvermessung des Werkstücks, für planbare Durchlaufzeiten.

Besondere Merkmale

• Moderne Software — einfache Einrichtung und Simulation: Bedienerfreundliche Software analysiert und visualisiert Messdaten aus verschiedenen Quellen und bereitet die Bearbeitungssimulation vor; GUI anwendungsspezifisch anpassbar.
• ISERM — in-situ-Ätzratenmessung: Niedrigkohärenz-Messsystem bestimmt das Ätzratenprofil der Ionenquelle präzise; austauschbarer Probenhalter unterstützt verschiedene Materialien; mehrere Messungen mit einem Messkopf möglich.
• Blendenwechsler — bis zu fünf Blenden: Blendenwechsel während des Betriebs in der Vakuumkammer möglich; Durchmesserbereich 0,5 mm bis 20 mm.

Downloads

• Broschüre Präzisionsoptik (PDF)
• Technische Daten IBF series (PDF)

Technische Spezifikationen

• Verfahren: Ion Beam Figuring (IBF) Korrekturpolitur im Vakuum
• Arbeitsmedium: beschleunigte Argonatome
• Typische Genauigkeit: bis auf wenige Nanometer
• Lokale Auflösung: Submillimeterbereich
• Mechanik: 6-achsiger Direktantrieb für orthogonale Ausrichtung der Ionenquelle
• Kantenbearbeitung: Bearbeitung bis an und über den Rand möglich
• Oberflächenqualität: λ/200 und besser
• Automatisierung: vollautomatischer, iterativer Workflow, hohe Reproduzierbarkeit
• Blendenwechsler: bis zu 5 Blenden, wechselbar im Vakuum
• Blenden-Durchmesserbereich: 0,5 mm – 20 mm
• Ätzratenmessung: ISERM Niedrigkohärenz in-situ Messsystem
• Messhardware: austauschbarer Probenhalter; mehrere Messungen mit einem Messkopf
• Software: Analyse und Visualisierung von Messdaten, Simulationserstellung, anpassbare GUI